熱蒸發(fā)鍍膜

NTE-3500（M）熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-3500是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)緊湊型立式熱蒸發(fā)系統(tǒng),，在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用,。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻,、可控及可重復(fù)的工藝過程,。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn),，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3500熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,，或者在閉環(huán)的配置下操作,，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

NTE-3000（M）蒸發(fā)系統(tǒng)是一個(gè)臺(tái)式系統(tǒng),，跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個(gè)共同的平臺(tái)；比如：櫥柜,，腔體,，真空系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的,。*的區(qū)別是一個(gè)使用磁控管,，另一個(gè)使用加熱坩堝. 因此，在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,，比如：樣品臺(tái)的加熱,，旋轉(zhuǎn)，偏斜,；涂覆前的等離子清洗,，膜厚監(jiān)測(cè)，序列或同時(shí)操作多源,；鐘罩,、鋁或不銹鋼腔體；預(yù)真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統(tǒng)等,。

NTE-3500跟NSC-3500很像, 除了樣片臺(tái)是在頂部并且樣片是面朝下固定,。因?yàn)橛性S多的共同點(diǎn)，我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000,NTS-3500, NTS-4000),，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力,。通過計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù),，而無須中斷真空。

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大*優(yōu)勢(shì)是持續(xù)性地控制加熱器電流,，而不是震蕩式控制加熱器,。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路，這點(diǎn)跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同,。在該系統(tǒng)中,，電流或者RMS值的持續(xù)時(shí)間被控制。用戶可以選擇一個(gè)設(shè)定值,，它實(shí)際上是設(shè)定交流電半周期的部分,，會(huì)出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣，系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確快速的電流控制,，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現(xiàn),。此外，電流控制以及溫度控制,，可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求,，無論是對(duì)有機(jī)材料還是對(duì)金屬。我們測(cè)量坩堝TB的RMS電壓,，RMS電流,，和溫度，并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測(cè)量溫度,?？折釄宓募訜釋?shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示，這些加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的,。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測(cè)量,。

通過以上的溫度與電流的關(guān)系，我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度,，溫度可以通過熱電偶來測(cè)量,。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會(huì)發(fā)生變化，然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測(cè)量值之間的關(guān)系將不會(huì)變化,。因此,，我們的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料，甚至不受線電壓值的影響,。

NTE-3500（M）熱蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
• 沉積速度可控
• 旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)
• 雙坩堝
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監(jiān)控儀
• 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制

相似產(chǎn)品型號(hào)：

• NTE-4000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3500  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)
• NTE-1000  計(jì)算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)