熱蒸發(fā)鍍膜

NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺式熱蒸發(fā)系統(tǒng),，在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈,、均勻,、可控及可重復(fù)的工藝過程。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn),，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求,。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作,，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度,。

NTE-3000蒸發(fā)系統(tǒng)是一個(gè)臺式系統(tǒng)，跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個(gè)共同的平臺,；比如：櫥柜,，腔體，真空系統(tǒng),，計(jì)算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的,。*的區(qū)別是一個(gè)使用磁控管，另一個(gè)使用加熱坩堝.因此,，在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,，比如：樣品臺的加熱，旋轉(zhuǎn),，偏斜,；涂覆前的等離子清洗,，膜厚監(jiān)測，序列或同時(shí)操作多源,；鐘罩,、鋁或不銹鋼腔體；預(yù)真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統(tǒng)等,。

NTE-3000跟NSC-3000很像, 除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定,。因?yàn)橛性S多的共同點(diǎn)，我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-4000),，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力,。通過計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù),，而無須中斷真空。

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大*優(yōu)勢是持續(xù)性地控制加熱器電流,，而不是震蕩式控制加熱器,。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路，這點(diǎn)跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同,。在該系統(tǒng)中,，電流或者RMS值的持續(xù)時(shí)間被控制。用戶可以選擇一個(gè)設(shè)定值,，它實(shí)際上是設(shè)定交流電半周期的部分,，會出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,，系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確快速的電流控制,，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現(xiàn)。此外,，電流控制以及溫度控制,，可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求,，無論是對有機(jī)材料還是對金屬,。我們測量坩堝TB的RMS電壓，RMS電流,，和溫度,，并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度?？折釄宓募訜釋?shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示,，這些加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測量,。

通過以上的溫度與電流的關(guān)系,，我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度,，溫度可以通過熱電偶來測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會發(fā)生變化,，然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測量值之間的關(guān)系將不會變化,。因此，我們的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料,，甚至不受線電壓值的影響,。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
• 沉積速度可控
• 旋轉(zhuǎn)的樣品臺
• 雙坩堝
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監(jiān)控儀
• 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制

相似產(chǎn)品型號：

• NTE-4000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3500  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)
• NTE-1000  計(jì)算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)