產(chǎn)品簡介

X軸采用閉式氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向,，中間增加氣浮承載面，防止中間下塌,。直線電機驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反饋,，大理石材質(zhì)作為機體，熱穩(wěn)定性好,，用于掃描運動,。

YZ軸采用直線電機驅(qū)動，交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋,，獲得納米級定位抖動,。Y軸安裝到X軸上，Y軸長度等于X軸寬度,，保持移動的穩(wěn)定性,。Z軸安裝到大理石龍門橋架上,。

C軸采用氣浮軸承、力矩電機及光柵尺閉環(huán)反饋,，閉式氣浮結(jié)構(gòu),，對結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度,，側(cè)向放置承載能力大,，解決氣浮軸抱死的問題。軸向跳動誤差優(yōu)于100nm,，徑向跳動誤差優(yōu)于150nm,。B軸直驅(qū)力矩電機驅(qū)動，精密軸環(huán)導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋,，用于角度調(diào)整,，微動步距0.5arc sec。

大理石機體因強度大,、硬度高,、不生銹、耐腐蝕性,、耐磨性及穩(wěn)定性好,，應(yīng)用于運動臺上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障,。大理石做模態(tài)分析,，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計,。

規(guī)格指標