多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺成為應(yīng)用趨勢,，伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會(huì)逐漸地提高性能,，因此很多公司都使用氣浮臺,，這是一種用于半導(dǎo)體加工、檢測,、微納加工,、測試測量等高精度設(shè)備,，但到底有哪些主要優(yōu)勢。

1.直線性和平面性高,。

2.高定位精度和重復(fù)定位,。

3.速度穩(wěn)定。

4.偏擺,、縱搖,、滾動(dòng)精度高。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺的高直度和平面度取決于氣浮導(dǎo)軌,，材料分為鋁合金,、大理石、碳化硅陶瓷等,，研究其壓力分布,、氣源壓力、節(jié)流器,、均壓槽深度等參數(shù),，找出了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間，具有出色的性能精度,，實(shí)現(xiàn)了高壓氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間,，并具有4G的加速度。

事實(shí)上,，材料的選擇和用戶的應(yīng)用有著密切的聯(lián)系,，單從性價(jià)比的角度來看，碳化硅陶瓷材料的氣浮運(yùn)動(dòng)臺精度高,，當(dāng)然成本也很高,，鋁合金與大理石材料的同樣性能價(jià)格比，鋁合金加工成本更低,，鋁合金材料成本更低,。

采用*的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選用不帶鐵芯的設(shè)計(jì),，具有無齒槽效應(yīng),，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)，使在運(yùn)動(dòng)過程中能達(dá)到超平穩(wěn)的效果,，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及*性控制系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)高精度和重復(fù)定位精度。

因此,，從各方向的優(yōu)點(diǎn)來看,，多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺已成為目前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇，可以提高整個(gè)系統(tǒng)的精度性能。

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