通常在科學研究,、制造業(yè)中的精密測量等應用場景中,，常使用一些高精度的轉(zhuǎn)臺,，通過360°旋轉(zhuǎn)被測物體,，與相應的檢測設備配合,，實現(xiàn)被測物品的檢測和質(zhì)量控制,。

這類需要使用的精密氣浮轉(zhuǎn)臺,，一般要求具有直驅(qū)無刷電機,、增量式以及相應的驅(qū)動控制器和控制軟件,。常見的有機械軸承轉(zhuǎn)盤和氣浮軸承轉(zhuǎn)盤兩種。

測量精密氣浮轉(zhuǎn)臺的精度主要取決于以下幾個參數(shù),。

角精度可以通過配置更高標準的光柵尺反饋,，這取決于光柵的直徑大小，角度精度通常是±0.5-±2arcsec的范圍,。若某些特定的應用方案需要較高的角度精度,，則可采用補償?shù)姆椒āＭㄟ^自動準直儀校準,，其角度精度可達<0.5arcsec,。

機械式和氣浮式軸承的轉(zhuǎn)盤，其角度精度差別不大,。

末端跳是指在轉(zhuǎn)動任何旋轉(zhuǎn)平臺時,，轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)子工作面沿軸心上下方向跳動。一個徑跳就是在旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)子軸在周圍這一方向跳動,。任何時候,，轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時都存在這兩個誤差，僅僅是誤差大小的差別,。

造成技術原理相似但精度差別很大的主要原因是：

空氣浮軸承工藝及工藝,；

轉(zhuǎn)子、定子的加工精度,，特別是圓度定子的加工,；

轉(zhuǎn)子和定子的表面粗糙度；

裝配一體化流程,；

馬達的各種作用,；

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