氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)是有氣浮導(dǎo)軌構(gòu)成的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),。在常見的設(shè)備中,，經(jīng)?？吹揭恍┻\(yùn)動(dòng)裝置,，按驅(qū)動(dòng)方式分為步進(jìn)電機(jī)、伺服旋轉(zhuǎn)電機(jī),、直線電機(jī),、音圈電機(jī)及壓電陶瓷電機(jī)等；按導(dǎo)軌導(dǎo)向分類為機(jī)械導(dǎo)軌（摩擦式）和氣浮導(dǎo)軌,，其中光刻機(jī)用的磁懸浮也為非接觸式,，但成本相當(dāng)昂貴；按反饋形式分為開環(huán),、半閉環(huán)和閉環(huán),，步進(jìn)電機(jī)為開環(huán)，伺服電機(jī)為半閉環(huán),，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)并搭配光柵尺行程閉環(huán)反饋,。

根據(jù)應(yīng)用，精度等級不同,，所以選用不同的運(yùn)動(dòng)裝置,。以下是大致介紹：

步進(jìn)電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動(dòng)，機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,，為開環(huán)運(yùn)動(dòng)裝置,，按脈沖的個(gè)數(shù)移動(dòng)，100mm行程精度在50μm-100μm,，應(yīng)用在低精度行業(yè)應(yīng)用,。

伺服電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動(dòng)，機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,，為半閉環(huán)運(yùn)動(dòng)裝置（通過伺服電機(jī)后的原編碼器反饋,，不能監(jiān)測工件移動(dòng)的位置），精度在20-30μm,。行業(yè)內(nèi)也可以移動(dòng)工件的編碼加光柵尺做閉環(huán)反饋,，精度能做到5-10μm，絲桿和聯(lián)軸器有反向間隙,，所以精度做不高,，同時(shí)絲桿的螺距，致使空載的速度在300mm/s以內(nèi),。增大絲桿螺距提升速度,，但又犧牲精準(zhǔn)度,。

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用直驅(qū)電機(jī)（直線電機(jī)和直驅(qū)力矩電機(jī)）作為直接驅(qū)動(dòng)方式，在行業(yè)得到了認(rèn)可,。電機(jī)的動(dòng)子直接連接負(fù)載板,通過機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,，中間無任何傳動(dòng)裝置，速度可高達(dá)2m/s,，100mm行程精度在1-2μm,，同時(shí)也可以搭配氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，獲取更高的亞微米級別精度,。