氣浮導(dǎo)軌基于氣體動靜壓效應(yīng),，實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動,。它具有運(yùn)動精度高,、清潔無污染等特點(diǎn),。因其誤差均化作用,，可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度,。通常與直線電機(jī),，編碼器反饋,，控制驅(qū)動器組成閉環(huán)系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器,、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用,。

超精密運(yùn)動平臺常用導(dǎo)軌有機(jī)械滾動導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌等,，機(jī)械滾動導(dǎo)軌的應(yīng)用己經(jīng)有好多年,，機(jī)械滾動導(dǎo)軌的運(yùn)動精度達(dá)到微米級，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003,。機(jī)械滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是滾動摩擦阻力小,，沒有滑動導(dǎo)軌的爬行、浮動現(xiàn)象,，但機(jī)械滾動導(dǎo)軌的摩擦大,、抗震性差、運(yùn)動不平穩(wěn),、壽命低,，在應(yīng)用方面有所欠缺。氣浮導(dǎo)軌相對于普通滾動導(dǎo)軌有著如下的優(yōu)點(diǎn)：

（1）導(dǎo)軌面間是氣體潤滑,，其摩擦系數(shù)極?。s為0.0005左右），故驅(qū)動功率可大大降低,；

（2）因系非接觸性摩擦,，故導(dǎo)軌磨損極小,，理論上使用壽命是無限的，能長期保持制造精度,，減少了維修工作量,；

（3）氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌運(yùn)動精度,；

（4）氣膜厚度幾乎不受速度的影響,，即使在極低速時(shí)也不會產(chǎn)生爬行，運(yùn)動平穩(wěn),；

（5）幾乎不產(chǎn)生熱量,，不會發(fā)生粘度變化，無需添加冷卻措施,。

瑞邦精控有多年的精密機(jī)械設(shè)計(jì),、加工及裝配等從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，從設(shè)計(jì)上對高壓氣體的流動規(guī)律,、壓力分布,、轉(zhuǎn)臺精度分離方法等進(jìn)行了充分研究，研究其影響因素-高壓氣膜的壓力分布,、氣源壓力,、節(jié)流器、均壓槽深度等,，找到了氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間,。在氣浮轉(zhuǎn)臺取得了關(guān)鍵技術(shù)突破，為高精度零件的加工與檢測,、超精密加工工具的研制奠定了技術(shù)基礎(chǔ),。軸向和徑向誤差在100nm以內(nèi)，雙向重復(fù)定位精度1角秒內(nèi),。