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氣浮運動臺的精度指標：
直線臺：定位精度、重復(fù)定位精度,、直線度、平面度,、Pitch/Roll/Yaw，見下圖。
直線度：運動臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向偏差；
平面度：（又稱垂直于直線度）運動臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差,；
Pitch：圍繞X方向的角度誤差；
Roll：圍繞Y軸方向的角度誤差,；
Yaw：圍繞Z方向的角度誤差,。
轉(zhuǎn)臺：定位精度、重復(fù)定位精度,、軸向跳動、徑向跳動及傾角誤差,，見下圖,。
軸向跳動：轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸同軸向發(fā)生的誤差；
徑向跳動：轉(zhuǎn)臺在軸向位置垂直于旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸發(fā)生的誤差,；
傾角誤差：相對于轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸在角度方向上的誤差,。
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