暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512,、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM,、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM,。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50,、SEC-E60,、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300,。

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222,、S600 BM212,、S600 BM222、S600 BR226,、S600 BM226,、S600 CR212、S600 CR222,、S600 CR226,、S500BR212、S500BM212,。

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX,、Z522MGX

一、產(chǎn)品概述：

SEC-Z512屬于SEC-500X系列,，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中，國內(nèi)多回收,、二次銷售,，我公司提供進口Z514、Z524,，保修期1年,。

二、產(chǎn)品特點：

1)多種氣體及多種流量范圍,，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,，現(xiàn)場設(shè)定；

2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.),；

3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi),，任意設(shè)置點)；

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作,；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,，可以zui大限度地減少庫存；

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,；

7)模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時進行,；

8)氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型)；SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封),，PTFE(聚四氟乙烯),，磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX,、Z522MGX

三,、SEC-Z512產(chǎn)品參數(shù)：

本公司同時提供美國AALBORG,、美國Alicat,、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計,、質(zhì)量流量控制器,、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器,。

進口數(shù)字型號:SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG,、SEC-Z516MG,。

進口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM,、SEC-N116MGM,、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM,、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40,、SEC-E50、SEC-E60,、SEC-E40MK3,、SEC-E40V、SEC-E50V,，kolfoc 3760,、GFC17S、GFC37S、GFM47S,、GFC57S,、GFC67S、GFC77S,，omega FMA1815S,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32,。

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212,、S600 BR222、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226、S600 BM226,、S600 CR212,、S600 CR222、S600 CR226,、S500BR212,、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO,、LV-F30 PO,、LV-F30 PO、LV-F40 PO,、LV-F50 PO,、LV-F60 PO、LV-F20 MO,、LV-F40 MO,、LV-F60 MO、LF-F20M,、LF-F30M,、LF-F40M、LF-F50M,、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P,、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P,、S4LG19-P,、UN4GT、S4MN,、S4FN,，美國Valex不銹鋼管，1/4”EP級不銹鋼管、3/8”EP級不銹鋼管,、1/2”EP級不銹鋼管,。