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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC-Z512,、Z522,、Z524 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX,、Z522MGX

SEC-Z512,、Z522、Z524 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX,、Z522MGX

參考價(jià) 18000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器,、液體質(zhì)量流量控制器,、壓力控制器,、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD,、MOCVD,、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列,、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列,、S48系列、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50,、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列,、GR-300系列,、PV-1000,氣體濃度計(jì)IR-300,、IR-400,,汽化器有VE10、VE20,、MV-2000,,皂膜流量計(jì)SF/VP系列,真空計(jì)VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer,、美國Omega,、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,,有多個(gè)自主品牌:MagnehelicFlotect,、Mercoid,、Love,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa,、負(fù)壓表2000-500Pa,、2000-60pa2000-25MBAR,、2000-3KPA,、2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111,、MS111LCD,、MS121LCDMS311LCD,、MS141LCD,;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F1950-5-2F,、1950-20-2F,、1950G-1-2F-241950-0-2F,;flotect流量開關(guān)V4-2-U,、V6EPBBS1BATV6EPBBS3BAT,、V6EPBBSLF,;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA;風(fēng)速變送器641-6-LED,、641-12-LED,、641RM-12-LED,;轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APF,、RMA-25-SSV-APF,、RMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPF,、RMB-57D-SSV-BPF,、RMB-85D-SSV-BPFVFA-2-BV,;高低壓報(bào)警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC,、A3000-750PA-240VAC3000MR-500PA,、3000MR-60PA,、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR,、AT21910,、AT21823AT2MS,、AT21640,、AT11910AT1ADPS,。

另有美國Omega熱電偶,、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線,、Omega流量計(jì)等,;韓國TKSUPER LOK,,卡套,,超純隔膜閥,VCR直通,,鎳墊片,焊接,、卡套,、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,,太陽能,,暖通,空調(diào),,食品,,制藥,,生物工程,智能樓宇,,電廠,,化工,水處理,,環(huán)境監(jiān)測,,工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計(jì),,熱式質(zhì)量流量計(jì),,熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì),,液體質(zhì)量流量控制器,,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表,、壓差傳感器,、制粒干燥機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣 介質(zhì) 腐蝕、非腐蝕性氣體
流量 1sccm-500slpm 精度 0.3%FS
輸出信號 RS485,,可選DeviceNet,、EtherCat 接口 卡套,可選VCR,、IGS

暢銷型號:SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z512,、SEC-Z522,。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM,、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM,。

可選低成本模擬型:SEC-E40,、SEC-E50、SEC-E60,、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300,。

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226、S600 BM226,、S600 CR212,、S600 CR222、S600 CR226,、S500BR212,、S500BM212。



數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX,、Z522MGX

一,、產(chǎn)品概述:

SEC-Z512屬于SEC-500X系列,高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中,,國內(nèi)多回收、二次銷售,,我公司提供進(jìn)口Z514,、Z524,保修期1年,。


二,、產(chǎn)品特點(diǎn):

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,,現(xiàn)場設(shè)定,;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應(yīng):<1秒(全量程范圍內(nèi),,任意設(shè)置點(diǎn)),;

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,,可以zui大限度地減少庫存,;

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;

7)模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行,;

8)氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型),;SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封),,PTFE(聚四氟乙烯),,磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。


數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX,、Z522MGX

三、SEC-Z512產(chǎn)品參數(shù):

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號*1

SEC-Z512,、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標(biāo)準(zhǔn)流量(N2轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM

10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O:通常打開 C:通常關(guān)閉

關(guān)閉控制閥時(shí)的流量

≤2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)

響應(yīng)

≤1秒:超過全流量范圍

直線性

≤±0.5% F.S.

反復(fù)性

≤±0.2% F.S.

工作壓差值

≤300kPa(d)

zui大工作壓力

450kPa(g)

耐壓

1000kPa(g)

外部泄漏率

≤5x10-12Pa·m3/s(He)

流量設(shè)定信號

0.1-5V DC(2%-F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號

0-5VDC(0%-F.S.);zui小負(fù)荷阻力2kΩ或更高

數(shù)字界面

地址功能:RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps)

F-Net協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應(yīng)

模擬:D-Sub 9-pin(TOP)

數(shù)字:2LAN jacks(TOP)

標(biāo)準(zhǔn)接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變,。
           *2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn),。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
           *3IGS:完整氣體系統(tǒng),。
           *SCCM和SLM是表示氣體流量的記號,。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。


本公司同時(shí)提供美國AALBORG,、美國Alicat,、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì),、質(zhì)量流量控制器,、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器,。

進(jìn)口數(shù)字型號:SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG,、SEC-Z516MG,。

進(jìn)口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM,、SEC-N116MGM,、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM,、SEC-N176MGM。

進(jìn)口低成本模擬型:SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,、SEC-E40V,、SEC-E50V,kolfoc 3760,、GFC17S,、GFC37S、GFM47S,、GFC57S,、GFC67S、GFC77S,,omega FMA1815S,。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212,。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO,、LV-F30 PO,、LV-F40 PO、LV-F50 PO,、LV-F60 PO,、LV-F20 MO,、LV-F40 MO,、LV-F60 MO、LF-F20M,、LF-F30M,、LF-F40M,、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件:韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P,、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P,、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P,、UN4GT,、S4MN、S4FN,,美國Valex不銹鋼管,,1/4”EP級不銹鋼管、3/8”EP級不銹鋼管,、1/2”EP級不銹鋼管,。





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