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SEC-Z514MGX/Z524MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計

參考價 18000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
  • 品牌 HORIBA/堀場
  • 型號 SEC-Z514MGX/Z524MGX
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/3/2 23:13:49
  • 訪問次數(shù) 512

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


我公司代理進口品牌多年,有兩大業(yè)務:horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件,。

HORIBA著名的半導體設備供應商,,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器,、壓力控制器、汽化器,。在半導體設備PECVD,、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用,。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,,低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列,、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,,壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列、GR-300系列,、PV-1000,,氣體濃度計IR-300、IR-400,,汽化器有VE10,、VE20、MV-2000,,皂膜流量計SF/VP系列,,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer,、美國Omega、日本Horiba,。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個自主品牌:Magnehelic,、Flotect,、MercoidLove,,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa,、負壓表2000-500Pa2000-60pa,、2000-25MBAR,、2000-3KPA2000-1000PA,;數(shù)顯變送器MS-111,、MS111LCDMS121LCD,、MS311LCD,、MS141LCD;防爆差壓開關1950-1-2F,、1950-5-2F,、1950-20-2F1950G-1-2F-24,、1950-0-2F,;flotect流量開關V4-2-UV6EPBBS1BAT,、V6EPBBS3BAT,、V6EPBBSLFflotect液位開關L6EPBBS3CCSA,;風速變送器641-6-LED,、641-12-LED641RM-12-LED,;轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APF,、RMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APF,、RMA-150-SSV-APF,、RMB-51D-SSV-BPFRMB-57D-SSV-BPF,、RMB-85D-SSV-BPF,、VFA-2-BV,;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC,、3000MR-500PA,、3000MR-60PA3000MR25MM,;防爆差壓開關AT23000MR,、AT21910AT21823,、AT2MS,、AT21640AT11910,、AT1ADPS,。

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭,、Omega熱電偶線,、Omega流量計等;韓國TK,,SUPER LOK,,卡套,超純隔膜閥,,VCR直通,鎳墊片,,焊接,、卡套、VCR接頭,,廣泛應用于電子半導體,,太陽能,暖通,,空調(diào),,食品,制藥,,生物工程,,智能樓宇,電廠,,化工,,水處理,環(huán)境監(jiān)測,,工業(yè)制造和實驗室等領域,。



氣體質(zhì)量流量計,,熱式質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量控制器,,液體質(zhì)量流量計,,液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,,壓差表,、壓差傳感器、制粒干燥機

產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應用領域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

暢銷型號:SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512、SEC-Z522,。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28,、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212

氣體質(zhì)量流量計又稱氣體質(zhì)量流量控制器,,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,,同時反饋實際的流量信號到上位機,。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD,、MOCVD中,,國內(nèi)多回收、二次銷售,,我公司提供進口SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX、SEC-Z514,、SEC-Z524等,,保證全新進口,終身維修,。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設定,;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.),;

3)快速響應:<1秒(全量程范圍內(nèi),任意設置點),;

4)非常方便的現(xiàn)場設置操作,;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存,;

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,;

7)可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT,、CC-Link,、模擬信號。

產(chǎn)品參數(shù):

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號*1SEC-Z512,、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全標準流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2轉(zhuǎn)換流量)10SCCM-10SLPM
閥門類型O:通常打開 C:通常關閉
關閉控制閥時的流量≤2% F.S.
流量測量范圍0-100% of F.S.
精確性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)
響應≤1秒:超過全流量范圍
直線性≤±0.5% F.S.
反復性≤±0.2% F.S.
工作壓差值≤300kPa(d)
zui大工作壓力450kPa(g)
耐壓1000kPa(g)
外部泄漏率≤5x10-12 Pa·m3/s(He)
流量設定信號0.1 - 5 V DC (2% - F.S.),;輸入阻抗1MΩ或更高
流量輸出信號0 -5 V DC (0% - F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高
數(shù)字界面地址功能: RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)316L 不銹鋼(表面拋光)
電源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標準接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS
安裝方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變,。

*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值,。

*3IGS:完整氣體系統(tǒng),。

*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程,、接口尺寸。

如是設備備件的更換,,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側面圖片,、頂部圖片。



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