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SEC-Z514MGX/Z524MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計
參考價 | ¥ 18000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-Z514MGX/Z524MGX
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/3/2 23:13:49
- 訪問次數(shù) 512
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氣體質(zhì)量流量計,,熱式質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量控制器,,液體質(zhì)量流量計,,液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,,壓差表,、壓差傳感器、制粒干燥機
產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣 |
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534
暢銷型號:SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512、SEC-Z522,。
可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型:SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,。
國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28,、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212
氣體質(zhì)量流量計又稱氣體質(zhì)量流量控制器,,簡稱MFC。
主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,,同時反饋實際的流量信號到上位機,。
大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD,、MOCVD中,,國內(nèi)多回收、二次銷售,,我公司提供進口SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX、SEC-Z514,、SEC-Z524等,,保證全新進口,終身維修,。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點:
1)多種氣體及多種流量范圍,,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設定,;
2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.),;
3)快速響應:<1秒(全量程范圍內(nèi),任意設置點),;
4)非常方便的現(xiàn)場設置操作,;
5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存,;
6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,;
7)可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT,、CC-Link,、模擬信號。
產(chǎn)品參數(shù):
規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 | ||||
型號*1 | SEC-Z512,、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
全標準流量 | 1/2SCCM | 10-50SLM | ||
(N2轉(zhuǎn)換流量) | 10SCCM-10SLPM | |||
閥門類型 | O:通常打開 C:通常關閉 | |||
關閉控制閥時的流量 | ≤2% F.S. | |||
流量測量范圍 | 0-100% of F.S. | |||
精確性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
工作溫度 | 5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C) | |||
響應 | ≤1秒:超過全流量范圍 | |||
直線性 | ≤±0.5% F.S. | |||
反復性 | ≤±0.2% F.S. | |||
工作壓差值 | ≤300kPa(d) | |||
zui大工作壓力 | 450kPa(g) | |||
耐壓 | 1000kPa(g) | |||
外部泄漏率 | ≤5x10-12 Pa·m3/s(He) | |||
流量設定信號 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.),;輸入阻抗1MΩ或更高 | |||
流量輸出信號 | 0 -5 V DC (0% - F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高 | |||
數(shù)字界面 | 地址功能: RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps) | |||
F-Net 協(xié)議,DevceNet | ||||
接液部材質(zhì) | 316L 不銹鋼(表面拋光) | |||
電源 | +15V±5% 150mA | |||
-15V±5% 150mA | ||||
信號反應 | 模擬: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
標準接頭*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可選1.125 inch IGS | |||
安裝方向 | 自由 |
*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變,。
*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值,。
*3IGS:完整氣體系統(tǒng),。
*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)
訂購注意:
請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程,、接口尺寸。
如是設備備件的更換,,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側面圖片,、頂部圖片。
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