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SEC-Z512MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計

參考價 18000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器,、液體質(zhì)量流量控制器,、壓力控制器、汽化器,。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD,、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用,。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,,低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列,、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,,壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列、GR-300系列,、PV-1000,,氣體濃度計IR-300、IR-400,,汽化器有VE10,、VE20、MV-2000,,皂膜流量計SF/VP系列,,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega,、日本Horiba,。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商,,有多個自主品牌:Magnehelic,、FlotectMercoid,、Love,,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa,、2000-60pa,、2000-25MBAR2000-3KPA2000-1000PA,;數(shù)顯變送器MS-111,、MS111LCDMS121LCD,、MS311LCD,、MS141LCD;防爆差壓開關(guān)1950-1-2F,、1950-5-2F,、1950-20-2F1950G-1-2F-24,、1950-0-2F,;flotect流量開關(guān)V4-2-UV6EPBBS1BAT,、V6EPBBS3BAT,、V6EPBBSLF,;flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA,;風(fēng)速變送器641-6-LED641-12-LED,、641RM-12-LED,;轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APF,、RMA-25-SSV-APF,、RMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPF,、RMB-57D-SSV-BPF,、RMB-85D-SSV-BPFVFA-2-BV,;高低壓報警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC,、A3000-750PA-240VAC3000MR-500PA,、3000MR-60PA,、3000MR25MM;防爆差壓開關(guān)AT23000MR,、AT21910,、AT21823AT2MS,、AT21640,、AT11910AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶,、Omega熱電偶插頭,、Omega熱電偶線、Omega流量計等,;韓國TK,,SUPER LOK,卡套,,超純隔膜閥,,VCR直通,鎳墊片,,焊接,、卡套、VCR接頭,,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,,太陽能,暖通,,空調(diào),,食品,制藥,,生物工程,,智能樓宇,電廠,,化工,,水處理,環(huán)境監(jiān)測,,工業(yè)制造和實驗室等領(lǐng)域,。



氣體質(zhì)量流量計,熱式質(zhì)量流量計,,熱式質(zhì)量流量控制器,,液體質(zhì)量流量計,液體質(zhì)量流量控制器,,壓力調(diào)節(jié)閥,,壓差表、壓差傳感器,、制粒干燥機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 1萬-3萬 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣

Horiba SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX高精度質(zhì)量流量計


暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512,、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM,、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM,。

可選低成本模擬型:SEC-E40,、SEC-E50、SEC-E60,、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212,、S600 BR222、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226、S600 BM226,、S600 CR212,、S600 CR222、S600 CR226,、S500BR212,、S500BM212


horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX介紹:

氣體質(zhì)量流量計又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC,。

主要功能是:控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,同時反饋實際的流量信號到上位機(jī),。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性,、高精度的MFC,用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中,,國內(nèi)多回收、二次銷售,,

我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX、SEC-Z514,、SEC-Z524等,,保證全新進(jìn)口,終身維修,。


horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX產(chǎn)品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設(shè)定;

2)超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.),;

3)快速響應(yīng):<1秒(全量程范圍內(nèi),,任意設(shè)置點);

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作,;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,;

7)可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet,、EtherCAT、CC-Link,、模擬信號,。


產(chǎn)品參數(shù):

型號*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2 轉(zhuǎn)換流量)10SCCM-10SLPM
閥門類型O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時的流量≤ 2% F.S.
流量測量范圍0-100% of F.S.
精確性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)≤ 1 秒:超過全流量范圍
直線性≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力450 kPa (g)
耐壓1000 kPa (g)
外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)316L 不銹鋼(表面拋光)
電源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應(yīng)模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS
安裝方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變,。

*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn),。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。

*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)

*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號,。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程、接口尺寸,。

如是設(shè)備備件的更換,,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片,。




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