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Z542

參考價(jià)	￥ 10000
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
型號(hào) SEC-Z522MGX
產(chǎn)地日本
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2025/3/2 23:12:21
訪問(wèn)次數(shù) 797

產(chǎn)品標(biāo)簽

horiba流量計(jì)horiba SEC-Z512 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 horiba SEC-Z522MGM horiba SEC-Z532MGXM

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

我公司代理進(jìn)口品牌多年,，有兩大業(yè)務(wù)：horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA是著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器,、液體質(zhì)量流量控制器,、壓力控制器、汽化器,。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD,、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用,。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,，低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國(guó)內(nèi)組裝的S600系列、S48系列,、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,，壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列、GR-300系列,、PV-1000,，氣體濃度計(jì)IR-300、IR-400,，汽化器有VE10,、VE20、MV-2000,，皂膜流量計(jì)SF/VP系列,，真空計(jì)VG-200S

儀器儀表代理品牌是美國(guó)dwyer,、美國(guó)Omega,、日本Horiba。美國(guó)dwyer德威爾儀表成立有80多年,，是美國(guó)*的儀器儀表生產(chǎn)商,，有多個(gè)自主品牌：Magnehelic、Flotect,、Mercoid,、Love，主要產(chǎn)品有：差壓表2000-250Pa,、負(fù)壓表2000-500Pa,、2000-60pa、2000-25MBAR,、2000-3KPA,、2000-1000PA,；數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCD,、MS121LCD,、MS311LCD、MS141LCD,；防爆差壓開(kāi)關(guān)1950-1-2F,、1950-5-2F、1950-20-2F,、1950G-1-2F-24,、1950-0-2F；flotect流量開(kāi)關(guān)V4-2-U,、V6EPBBS1BAT,、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF,；flotect液位開(kāi)關(guān)L6EPBBS3CCSA,；風(fēng)速變送器641-6-LED、641-12-LED,、641RM-12-LED,；轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APF,、RMA-25-SSV-APF,、RMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPF,、RMB-57D-SSV-BPF,、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV,；高低壓報(bào)警開(kāi)關(guān)A3000-1KPA-240VAC,、A3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA,、3000MR-60PA,、3000MR25MM；防爆差壓開(kāi)關(guān)AT23000MR,、AT21910,、AT21823、AT2MS,、AT21640,、AT11910、AT1ADPS。

另有美國(guó)Omega熱電偶,、Omega熱電偶插頭,、Omega熱電偶線、Omega流量計(jì)等,；韓國(guó)TK,，SUPER LOK，卡套,，超純隔膜閥,，VCR直通，鎳墊片,，焊接,、卡套、VCR接頭,，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,，太陽(yáng)能，暖通,，空調(diào),，食品，制藥,，生物工程,，智能樓宇，電廠,，化工,，水處理，環(huán)境監(jiān)測(cè),，工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域,。

展開(kāi)

氣體質(zhì)量流量計(jì)，熱式質(zhì)量流量計(jì),，熱式質(zhì)量流量控制器,，液體質(zhì)量流量計(jì)，液體質(zhì)量流量控制器,，壓力調(diào)節(jié)閥,，壓差表,、壓差傳感器,、制粒干燥機(jī)

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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	產(chǎn)品種類	質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間	1萬(wàn)-3萬(wàn)	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

量程0-20SLM、0-200SLM,，RS485通訊/0-5VDC

暢銷型號(hào)：SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522,。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28,、horiba S48 32、S300

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212

產(chǎn)品介紹：

氣體質(zhì)量流量計(jì)又稱氣體質(zhì)量流量控制器,，簡(jiǎn)稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī),。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中，國(guó)內(nèi)多回收,、二次銷售,。

我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX,、SEC-Z532MGX,、SEC-Z542MGX等，保證全新進(jìn)口,，終身維修,。

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542產(chǎn)品特點(diǎn)：

1)多種氣體及多種流量范圍,，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定,；

2)超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.),；

3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn)),；

4)非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作,；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫(kù)存,；

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,；

7)可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT,、CC-Link,、模擬信號(hào)。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號(hào)*1	SEC-Z512,、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量	1/2SCCM		10-50SLM
(N2 轉(zhuǎn)換流量)		10SCCM-10SLPM
閥門(mén)類型	O: 通常打開(kāi) C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時(shí)的流量	≤ 2% F.S.
流量測(cè)量范圍	0-100% of F.S.
精確性*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度	5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)	≤ 1 秒:超過(guò)全流量范圍
直線性	≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性	≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力	450 kPa (g)
耐壓	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號(hào)	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號(hào)	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面	地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
	F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)	316L 不銹鋼(表面拋光)
電源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信號(hào)反應(yīng)	模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
	數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可選1.125 inch IGS
安裝方向	自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變,。

*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值,。

*3IGS: 完整氣體系統(tǒng),。

*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號(hào)。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購(gòu)注意：

請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程,、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片,、頂部圖片。

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

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