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SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX

參考價	￥ 18000
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
品牌 HORIBA/堀場
型號 SEC-Z517MGX
產(chǎn)地日本
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2025/3/2 23:13:50
訪問次數(shù) 797

產(chǎn)品標(biāo)簽

horiba流量計 horiba SEC-Z517 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 horiba SEC-Z527MGX horiba SEC-Z524MGXM

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公司介紹 主營產(chǎn)品

我公司代理進(jìn)口品牌多年,，有兩大業(yè)務(wù)：horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件,。

HORIBA是著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器,、液體質(zhì)量流量控制器,、壓力控制器、汽化器,。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD,、MOCVD,、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列,、SEC-D500系列,、SEC-Z500系列，低成本的有SEC-N100系列,、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列,、S48系列、S500系列,。液體流量控制器有LV-F50,、LF-F60，壓力液體汽化器UR-Z700系列,、GR-200系列,、GR-300系列、PV-1000,，氣體濃度計IR-300,、IR-400，汽化器有VE10,、VE20,、MV-2000，皂膜流量計SF/VP系列,，真空計VG-200S

儀器儀表代理品牌是美國dwyer,、美國Omega、日本Horiba,。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,，是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商，有多個自主品牌：Magnehelic,、Flotect,、Mercoid、Love,，主要產(chǎn)品有：差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa,、2000-60pa,、2000-25MBAR、2000-3KPA,、2000-1000PA,；數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCD,、MS121LCD,、MS311LCD,、MS141LCD；防爆差壓開關(guān)1950-1-2F,、1950-5-2F,、1950-20-2F、1950G-1-2F-24,、1950-0-2F,；flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BAT,、V6EPBBS3BAT,、V6EPBBSLF；flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA,；風(fēng)速變送器641-6-LED,、641-12-LED、641RM-12-LED,；轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APF,、RMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APF,、RMA-150-SSV-APF,、RMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPF,、RMB-85D-SSV-BPF,、VFA-2-BV；高低壓報警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC,、A3000-750PA-240VAC,、3000MR-500PA、3000MR-60PA,、3000MR25MM,；防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910,、AT21823,、AT2MS、AT21640,、AT11910,、AT1ADPS。

另有美國Omega熱電偶,、Omega熱電偶插頭,、Omega熱電偶線、Omega流量計等,；韓國TK,，SUPER LOK,，卡套，超純隔膜閥,，VCR直通,，鎳墊片，焊接,、卡套,、VCR接頭，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,，太陽能,，暖通，空調(diào),，食品,，制藥，生物工程,，智能樓宇,，電廠，化工,，水處理,，環(huán)境監(jiān)測，工業(yè)制造和實驗室等領(lǐng)域,。

展開

氣體質(zhì)量流量計,，熱式質(zhì)量流量計，熱式質(zhì)量流量控制器,，液體質(zhì)量流量計,，液體質(zhì)量流量控制器，壓力調(diào)節(jié)閥,，壓差表,、壓差傳感器、制粒干燥機

詳細(xì)信息 在線詢價

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	產(chǎn)品種類	質(zhì)量式
價格區(qū)間	1萬-3萬	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣	氣體	N2,、SiH4,、Ar等
量程	10SLM、最小3sccm	接口	IGS 14W3
通訊	EtherCat

Horiba SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX高精度質(zhì)量流量計

暢銷型號: SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z512,、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM,、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM,。

可選低成本模擬型：SEC-E40,、SEC-E50、SEC-E60,、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212,、S600 BR222、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226,、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226,、S500BR212,、S500BM212

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,，簡稱MFC,。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,，同時反饋實際的流量信號到上位機,。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中，國內(nèi)多回收,、二次銷售,，

我公司提供進(jìn)口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX,、SEC-Z514,、SEC-Z524等，

保證全新進(jìn)口,，終身維修,。

產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet,、EtherCAT、CC-Link、模擬信號,。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號^*1	SEC-Z512,、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量 (N2 轉(zhuǎn)換流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
閥門類型	O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時的流量	≤ 2% F.S.
流量測量范圍	0-100% of F.S.
精確性^*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度	5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)	≤ 1 秒:超過全流量范圍
直線性	≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性	≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力	450 kPa (g)
耐壓	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面	地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
	F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)	316L 不銹鋼(表面拋光)
電源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信號反應(yīng)	模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
	數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭^*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可選1.125 inch IGS
安裝方向	自由

^*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。
^*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn),。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值,。
^*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
^*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意：

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程,、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片,、頂部圖片。

SEC-Z517MGX horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX

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