1. 公司背景

KOFLOC科賦樂(lè)是日本流量控制設(shè)備制造商,，專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）,、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門(mén)的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損,、長(zhǎng)壽命著稱,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏,、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域,。

2. 技術(shù)優(yōu)勢(shì)

• 熱式技術(shù)（氣體）：

• 基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）,。

• 低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）,。

• 壓差式技術(shù)（液體）：

• 通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào),。

• 耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

• 智能功能：

• 數(shù)字通信（RS-485,、Modbus,、DeviceNet）。

• 自診斷報(bào)警（流量超限,、傳感器異常）,。

3. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

3.1 半導(dǎo)體制造

• 案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

• 要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時(shí)間＜1秒,。

• 配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。

3.2 光伏產(chǎn)業(yè)

• 案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。

• 挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆,，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

• 方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能,。

3.3 醫(yī)療設(shè)備

• 案例：呼吸機(jī)氧氣流量監(jiān)測(cè)（Mini系列）,。

• 關(guān)鍵參數(shù)：0.1~10 SLM范圍，醫(yī)用級(jí)潔凈度（ISO 13485認(rèn)證）,。

3.4 化工流程

• 案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）,。

• 材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

4. 選型與安裝指南

4.1 選型關(guān)鍵參數(shù)

1. 介質(zhì)類型：

• 氣體：需明確分子量（影響熱式傳感器校準(zhǔn)）,。

• 液體：考慮粘度（壓差式適用＜50 cP）,。

2. 流量范圍：

• 實(shí)際流量應(yīng)處于量程的10%~90%（避免低端非線性區(qū)）。

3. 環(huán)境要求：

• 防爆（化工）,、潔凈度（醫(yī)療）,、IP防護(hù)等級(jí)（戶外）。

4.2 安裝注意事項(xiàng)

• 氣體流量計(jì)：

• 安裝方向：垂直向上（避免冷凝液積聚）,。

• 前后直管段：≥5D（前）,、≥3D（后）。

• 液體流量計(jì)：

• 避免氣泡干擾（頂部安裝排氣閥）。

• 泵振動(dòng)隔離（軟管連接減震）,。

4.3 校準(zhǔn)與維護(hù)

• 定期校準(zhǔn)：

• 氣體：使用皂膜流量計(jì)或標(biāo)準(zhǔn)氣體（如NIST可溯源）,。

• 液體：稱重法或容積法校準(zhǔn)。

• 傳感器維護(hù)：

• 熱式：每年清潔探頭（異丙醇擦拭）,。

• 壓差式：檢查層流元件是否堵塞,。