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Canon FPA5000 ES4 掃描式光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護,、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù),。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,,快速退火爐,,光刻機,,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機,,光源波長248nm,分辨率優(yōu)于0.13µm,,用于6寸,、8寸及12寸生產(chǎn)線,廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體,、MEMS,、LED等域

2. 設(shè)備特點

主要技術(shù)指標(biāo),,分辨率0.13µm,,N.A.0.5-0.8曝光光源248nm,,倍率4:1,,最大曝光現(xiàn)場26mm*33mm對準(zhǔn)精度25nm,。半導(dǎo)體器件制造中最重要的步驟是光刻,,其中電路圖形通過精密半導(dǎo)體光刻設(shè)備(通常稱為步進機或掃描儀)從掩模轉(zhuǎn)移到晶圓或面板。

佳能開發(fā)了一系列半導(dǎo)體光刻設(shè)備,,旨在滿足除傳統(tǒng)半導(dǎo)體晶圓加工之外的廣泛應(yīng)用的技術(shù)要求,。

半導(dǎo)體芯片(也稱為集成電路,Integrated Circuit, IC)生產(chǎn)主要分為 IC 設(shè)計,、 IC 制造,、 IC 封測三大環(huán)節(jié)。 IC 設(shè)計主要根據(jù)芯片的設(shè)計目的進行邏輯設(shè)計和規(guī)則制定,,并根據(jù)設(shè)計圖制作掩模以供后續(xù)光刻步驟使用,。 IC 制造實現(xiàn)芯片電路圖從掩模上轉(zhuǎn)移至硅片上,并實現(xiàn)目標(biāo)芯片功能,,包括化學(xué)機械研磨,、薄膜沉積、光刻,、刻蝕,、離子注入等步驟,。 IC 封測完成對芯片的封裝和性能,、功能測試,是產(chǎn)品交付前的最后工序,。



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