1. 產(chǎn)品概述

Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機,，主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線,，廣泛應用于化合物半導體,、MEMS、LED等域,。

2. 設(shè)備特點

投影放大倍率：1/4 X,，曝光光：（248nm DUV）。數(shù)值孔徑：（0.73~0.60,，以 0.01 為增量）,，視場尺寸：26x33mm。曝光光：DUV（深紫外線）,。強度： 低 17,000 w/m2,。均勻度：+/- 1.0%。遮蔽刀片精度：最大 +/- 80 μm,。

分辨率：<0.13μm 或更小,。焦深：最小 R 0.6μm，圖像表面寬度：R 0.12μm 或更高,，畸變度：<± 10μm,。對焦/調(diào)平性能：聚焦重復性：<60nm （3sigma），調(diào)平重復性：<4ppm （3sigma）,，最小補償范圍：>100ppm,。步長精度：17nm （3sigma），縮放比例：<±0.5ppm,，正交度：<±0.5ppm,。標線旋轉(zhuǎn)精度：<±0.3ppm。晶圓對準：<0.025μm 平均值 + 3sigma,。光罩旋轉(zhuǎn)重復性：<R0.7ppm,。標準尺寸：6 英寸方形 t=0.25 英寸（Patticle 檢查器）,。材質(zhì)： 石英。圖案材料：2 層 CR,、3 層 CR,。薄膜框架：僅圖案側(cè)支架 = 6.3mm。光罩顆粒檢查器規(guī)格：檢測分辨率：圖案表面：>0.6μm,。玻璃表面：>15μm,，表層表面：>20μm，檢測重復性： >95%,，晶圓尺寸：標準 8 英寸（8 英寸至 12 英寸 SEMI 標準,，JEIDA，缺口/平面,，可選）,，吞吐量：125wph （30 shot）22mm （ 8“ 晶圓），吞吐量：73wph （64shot）22mm （ 12“ 晶圓）,，環(huán)境室規(guī)格：清潔度：1級（>0.1μm）,，控溫精度：+/- 0.1*C 以內(nèi)。腔室類型：CD140,，空調(diào)：BCU-900,，制冷劑：P3419481YH，調(diào)節(jié)劑：SC-216440,。

佳能開發(fā)了一系列半導體光刻設(shè)備,，旨在滿足除傳統(tǒng)半導體晶圓加工之外的廣泛應用的技術(shù)要求。

半導體芯片（也稱為集成電路,，Integrated Circuit, IC）生產(chǎn)主要分為 IC 設(shè)計,、 IC 制造、 IC 封測三大環(huán)節(jié),。 IC 設(shè)計主要根據(jù)芯片的設(shè)計目的進行邏輯設(shè)計和規(guī)則制定,，并根據(jù)設(shè)計圖制作掩模以供后續(xù)光刻步驟使用。 IC 制造實現(xiàn)芯片電路圖從掩模上轉(zhuǎn)移至硅片上,，并實現(xiàn)目標芯片功能,，包括化學機械研磨、薄膜沉積,、光刻,、刻蝕、離子注入等步驟,。 IC 封測完成對芯片的封裝和性能,、功能測試，是產(chǎn)品交付前的最后工序。