一,、產(chǎn)品概述：

Nikon S208D 掃描式光刻機(jī)是一款高效能的設(shè)備，專為半導(dǎo)體制造業(yè)設(shè)計(jì),，支持 200mm 晶圓的生產(chǎn),。該機(jī)型采用先進(jìn)的掃描光刻技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移,，適用于集成電路,、微處理器和存儲(chǔ)器等電子元件的制造。憑借其良好的曝光速度和穩(wěn)定性,，S208D 適合大批量生產(chǎn),，同時(shí)簡(jiǎn)潔友好的操作界面和自動(dòng)化功能降低了操作難度，提升了用戶體驗(yàn),。這使得 Nikon S208D 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中的重要工具,，滿足行業(yè)對(duì)高效能和高質(zhì)量的需求。

二、設(shè)備用途/原理：

該設(shè)備通過高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案投影到涂有光刻膠的晶圓表面,。工作過程中,，光源發(fā)出特定波長的光線，通過高分辨率光學(xué)系統(tǒng),，精確地掃描掩模并將圖案投影到晶圓上,。曝光后，光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,，隨后進(jìn)行顯影,，去除未曝光或已曝光的光刻膠，形成所需的圖案,。接著,，利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上，最后去除殘留的光刻膠,。通過這一系列步驟,，Nikon S208D 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移，滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)需求,。

三,、主要技術(shù)指標(biāo)：

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon S208D掃描式光刻機(jī)

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.11µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體,、MEMS,、LED等