應用方向：科研與教學

產品優(yōu)勢：耐氯基強腐蝕氣體,，帶雙片送取樣室（Load-Lock）

產品配置：

★樣片數量及尺寸：1片Ф6英寸

★刻蝕材料：包括并不限于GaN、GaAs,、InP,、Al、Cr,、單晶硅,、多晶硅,、SiO2、Si3N4,、Ti,、W、Mo,、聚合物等,。

★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)

★Load-Lock：低真空系統(tǒng) 或 高真空系統(tǒng)。雙片裝,，樣品自動運送,。

★刻蝕不均勻性：±3%-±6%

★刻蝕速率：0.1-4μm/min（視具體材料與工藝）

★工作臺：可升降，包含水冷

★電源配置：上電射頻,，下電偏壓,，包含自動匹配

★氣路數量與種類：6路氣路，其中2路耐腐蝕VCR焊接 或 用戶選配

★深硅刻蝕系統(tǒng)：可選配

★He冷背吹系統(tǒng)：可選配

★終點檢測控制：可選配質譜儀

★操作模式：全自動+半自動控制