1． 技術(shù)參數(shù)

l UV光源：進(jìn)口LED模塊

l 曝光中心波長(zhǎng)：365nm

l 光源平行性：2o

l ★曝光分辨率：0.8um-1um

l 曝光能量密度：>35mW/cm2可調(diào)

l 照度不均勻性：≤2.5%(∮150mm范圍)

l ★曝光面積：160mm*160mm

l 光源壽命：2萬(wàn)小時(shí)

l 曝光設(shè)定：定時(shí)

l 曝光頭工作模式：曝光位對(duì)準(zhǔn)位自動(dòng)切換（前后移動(dòng)）

l 套準(zhǔn)精度：±0.8-1 um

l 可執(zhí)行曝光模式：真空接觸,、硬接觸,、壓力接觸、接近式,，

l 間隙設(shè)定方式：數(shù)字設(shè)定曝光間隙,，自動(dòng)分離和消除間隙

l 樣片、掩模版相對(duì)移動(dòng)范圍：X: ±5mm,， Y: ±5mm,， θ=±6o

l 掩模版找平方式：球氣浮自動(dòng)找平

l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″,、5″×5″,、7″×7″ 各一件

l 標(biāo)配承片臺(tái) ： 2英寸、3英寸,、4英寸,、6英寸

l 標(biāo)準(zhǔn)配件可兼容樣片厚度：0.1-6mm,，其他尺寸可定制

l 可設(shè)計(jì)工作厚度：50mm

l ★雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡或者光學(xué)鏡頭+CCD+顯示器：可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn),，光學(xué)合像,，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍,，物鏡三對(duì)：4倍,、10倍、20倍,，目鏡三對(duì)：10倍,、16倍、20倍

l 雙物鏡可調(diào)距離范圍：30mm-120mm

l ★顯微掃描范圍：Y:±40mm（電動(dòng),，數(shù)字設(shè)定）

  設(shè)備尺寸：≤700mm