EFC270 杜邦 刻蝕殘留物去除液
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EFC270
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/4/28 16:17:18
- 訪問次數(shù) 107
產(chǎn)品標(biāo)簽
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納米圖形發(fā)生器，離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜,、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī),、去膠設(shè)備等
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,電氣 |
|---|
EFC265 接觸清潔,金屬線清潔，TSV深硅穿孔清潔等
杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除
杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除
清洗接觸,，金屬，穿孔和Pad
高度選擇性的殘留物去除 應(yīng)用：
應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),，以滿足關(guān)鍵的清潔需求
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各個階段
下面列出了常見的應(yīng)用程序：
接觸清潔
金屬線清潔
TSV深硅穿孔清潔
鎢埋位線清洗
聚酰亞胺清洗
Pad清潔
MEMS清洗
特征：
所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案
除重有機(jī)殘留物
寬工藝窗口
高產(chǎn)率
穿孔接觸電阻降低
鋁清洗行業(yè)基準(zhǔn)
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