化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>光學(xué)薄膜測量設(shè)備>日本 Toho FLX-2320系列 薄膜應(yīng)力測試儀
日本 Toho FLX-2320系列 薄膜應(yīng)力測試儀
- 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 日本 Toho FLX-2320系列
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/4/3 8:03:24
- 訪問次數(shù) 646
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納米圖形發(fā)生器,,離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜,、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等
技術(shù)參數(shù):
Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計精確測量多種襯底材料,、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力,。
主要特點:
◆雙光源掃描(可見光激光源及不可見光激光源),系統(tǒng)可自動選擇適合的匹配之激光源,;
◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫,、降溫模擬系統(tǒng),便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力,,溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃,;
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫,并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫,,便于新材料研究,;
◆形象的軟件分析功能,,用于不同測量記錄之間的比較,,且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔;
◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能,。
用戶界面:
WINDOWS OS易懂操作界面,。
另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動保存測量數(shù)據(jù)等方便性能,。
每個用戶可分別設(shè)定訪問權(quán)限,。使用自帶軟件實現(xiàn)簡單卻性能高,簡單測量