一,、全新CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品介紹

CIF推出全新一代實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備，并非傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念,，可中試生產(chǎn),、模擬生產(chǎn)條件，幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能,。采用頂置真空倉(cāng),，上開蓋下壓式鉸鏈開關(guān)方式，上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計(jì),，具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積,，使用成本低，性價(jià)比高,，處理快速高效,，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn),。

二,、全新CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)

1.7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，圖形化用戶操作界面顯示,，自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),，20個(gè)配方程序，可存儲(chǔ)、輸出,、追溯工藝數(shù)據(jù),，機(jī)器運(yùn)行、停止提示,。

2. PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程,，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式,。

3. 石英真空倉(cāng),，真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染,。

4. 采用質(zhì)量流量計(jì)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,，改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

5. HEPA高效過濾,，氣體返填吹掃,，防止二次污染。

6. 60度傾角操作界面設(shè)計(jì),，符合人體功能學(xué),，操作方便，界面友好,。

7. 頂置真空倉(cāng),，上開蓋設(shè)計(jì)，下壓式鉸鏈開關(guān)方式,，開關(guān)蓋方便,。

8. 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題,。

9. 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),，符合人體功能學(xué)，操作更方便,。

10. 有效清洗面積大,，可清洗最大直徑8寸硅片。

11. 可處理不同幾何形狀,、表面不同粗糙程度的金屬,、陶瓷、玻璃,、硅片,、塑料等樣品，進(jìn)行清洗和改性,。

12. 安全保護(hù),，倉(cāng)門打開,，自動(dòng)關(guān)閉電源。

三,、技術(shù)參數(shù)