光刻膠是一種在半導(dǎo)體制造和微細(xì)加工領(lǐng)域中至關(guān)重要的材料,。它主要由光引發(fā)劑,、樹(shù)脂,、溶劑等基礎(chǔ)組分組成,，并根據(jù)其響應(yīng)紫外光的特性,，可以分為正膠和負(fù)膠兩種類型,。正膠在曝光前對(duì)顯影液不可溶,，而曝光后變得可溶,，能夠產(chǎn)生高分辨率和良好對(duì)比度的圖案,。相比之下，負(fù)膠在曝光前可溶,，曝光后不可溶,，具有較好的粘附能力和抗刻蝕能力，但其分辨率相對(duì)較低,。

光刻膠的種類繁多,，每種光刻膠都有其特定的應(yīng)用領(lǐng)域和特點(diǎn)。托托科技提供了一系列適用于不同行業(yè)的高性能光刻膠產(chǎn)品,，這些產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色,，主要用于精確地將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上。

高分辨率光刻膠/S1800系列光刻膠,，這些正性光刻膠具有0.4-2.7um的膠厚范圍,，極限線寬可達(dá)0.5um，適用于小線寬雙層膠lift-off工藝,。SPR955系列光刻膠,，這些正性光刻膠的膠厚范圍為0.7-3.5um，極限線寬可達(dá)0.35um,，粘附性好,。ROL-7133光刻膠，國(guó)產(chǎn)負(fù)膠,，適用于g/h/i-line光源,，膠厚范圍為2.2-4um，適用于lift-off工藝制造金屬電極或?qū)Ь€,。SUN-lift 1303光刻膠,，國(guó)產(chǎn)負(fù)膠，同樣適用于g/h/i-line光源，膠厚范圍為2.2-4um,，適用于lift-off工藝,。PMMA 光刻膠，正性電子束光刻膠,，高分辨率,，適用于電子束光刻、二維材料轉(zhuǎn)移,、多層T-gate等工藝,。AZ系列光刻膠：AZ 5214E光刻膠：正性薄膠，膠厚范圍為1-1.6um,，適用于雙層膠lift-off工藝,；AZ 4620光刻膠：正性厚膠，膠厚范圍為3-60um,，適用于干法/濕法刻蝕、電鍍等工藝,；AZ MIR 701/703光刻膠：高分辨率正膠,，膠厚范圍為0.7-1.4um，極限線寬0.5um,；AZ nLOF 2000系列光刻膠：包括AZ nLOF 2020,、AZ nLOF 2035、AZ nLOF 2070等型號(hào),，耐高溫Lift-off光刻膠,。SU-8光刻膠，高深寬比負(fù)膠,，膠厚范圍為0.5-650um,，適用于絕緣層、微流控等工藝,。SPR220系列光刻膠,，常用正膠，膠厚范圍為1-10um,，適用于干法/濕法刻蝕,、電鍍等工藝。AZ 1500系列光刻膠,，高分辨率正膠,，膠厚范圍為0.7-1.4.3um，極限線寬0.5um,。底層膠,、圖形反轉(zhuǎn)膠、電子束光刻膠、LOR光刻膠,、PMGI SF光刻膠,、Lift-off工藝光刻膠等，適用于不同的工藝需求,，包括正性光刻膠,、負(fù)性光刻膠、厚光刻膠,、薄光刻膠,、紫外光刻膠。

托托科技的光刻膠產(chǎn)品線非常豐富,，能夠滿足不同半導(dǎo)體制造工藝的需求,，從精細(xì)圖案的制造到高深寬比的應(yīng)用，都有相應(yīng)的產(chǎn)品可以選擇,。