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KaLine 8V 部件鍍膜設(shè)備

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護,、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,,軟件著作權(quán) 14 項,,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺,快速退火爐,,光刻機,,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

本裝置是在真空狀態(tài)中向產(chǎn)品外部涂層非導(dǎo)體的設(shè)備,在真空內(nèi)產(chǎn)品做自空傳,由能保持一定的膜厚度構(gòu)成的.


本設(shè)備采用真空技術(shù),用于在產(chǎn)品外部涂覆非導(dǎo)體材料,。在真空環(huán)境下,產(chǎn)品會進行自旋轉(zhuǎn)動,使涂層能夠均勻覆蓋整個表面,形成一定厚度的保護膜。這種真空涂層技術(shù)可以確保涂層的致密性和附著力,從而為產(chǎn)品提供耐磨,、絕緣,、防腐等功能。

具體來說,該設(shè)備由真空室,、高速旋轉(zhuǎn)平臺和涂層噴淋系統(tǒng)等部件組成,。產(chǎn)品放置在旋轉(zhuǎn)平臺上,在真空抽氣后,平臺以高速旋轉(zhuǎn),同時對產(chǎn)品表面進行均勻的涂層噴灑。涂層材料在真空環(huán)境下能夠迅速附著并形成致密的膜層,厚度可以精確控制,以滿足不同產(chǎn)品的性能要求,。這種真空涂層技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子,、汽車、航空航天等領(lǐng)域,為產(chǎn)品提供保護性能,。

與傳統(tǒng)的大氣壓涂裝相比,真空涂層技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢,。首先,真空環(huán)境可以有效地排除空氣中的灰塵和雜質(zhì),確保涂層表面的潔凈度。其次,真空狀態(tài)下涂層材料的流動性和浸潤性大為提高,能夠更好地覆蓋產(chǎn)品表面的微小凹凸部位,。此外,真空條件下涂層的固化速度更快,生產(chǎn)效率更高,。總之,這種真空涂層技術(shù)為產(chǎn)品表面處理提供了一種高質(zhì)量,、高效率的解決方案,。

設(shè)備構(gòu)成Auto Inline 8 Chamber
到達真空3 x 10-6 Torr
排氣構(gòu)成D/P + Poly Cold + MBP + RP
產(chǎn)品回轉(zhuǎn)滾輪驅(qū)動
Sputter TargetAL, SUS, Ni, Sn, Ti, Cr
Cycle Time1~3 min






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