磁控濺射
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 沈陽美濟真空科技有限公司-J
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2019/5/25 15:11:48
- 訪問次數(shù) 615
產(chǎn)品標簽
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|
1,、基片尺寸：≥110×110mm，基片加擋板,。
2,、基片臺：基片臺旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-25rpm連續(xù)可調(diào),，光控定位,；
襯底加熱：磁控濺射采用真空加熱器，室溫～1500℃可調(diào)可控,；
反濺清洗,；磁控濺射采用射頻電源對基片表面進行“清洗/活化”；
3,、基片架轉(zhuǎn)速0～25轉(zhuǎn)/分,，可控可調(diào)。
4,、基片架可加熱,、可旋轉(zhuǎn)、可升降,。
5,、靶面到基片距離60～90mm可調(diào)。
6,、Ф3英寸圓形平面磁控濺射永磁靶,；可鍍鐵磁材料的磁控濺射靶1支，可鍍普通靶材的磁控濺射靶1支,；靶材尺寸Ф3英寸,。
7、鍍膜室極限真空：≤5×10-5Pa,，抽至 10-4Pa≤20min,；。
8,、速率和膜厚監(jiān)控：石英晶振膜厚儀,，在線監(jiān)測蒸發(fā)速率，監(jiān)控膜厚,；厚度監(jiān)測范圍：1Å～99999Å,，分辨率1Å；速率監(jiān)測范圍：0.1Å～99.9Å /s,，分辨率0.1Å,；
采購中心
化工儀器網(wǎng)