隨著半導(dǎo)體制程線寬已達納米時代,，細微的污染都可能改變半導(dǎo)體的性質(zhì)，濕電子化學(xué)品是電子行業(yè)濕法制程的關(guān)鍵材料,，需要直接與硅片接觸,，其金屬離子的控制對于確保產(chǎn)品良率至關(guān)重要。賽默飛可提供從ICP-OES到ICPMS（單桿,、三重四極桿到高分辨）的全產(chǎn)品線解決方案,，適用于不同制程的痕量污染物檢測需求，確保 QA/QC 一致性,，助力提升良率,！
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突破高純有機溶劑行業(yè)壁壘
高純度有機溶劑被廣泛使用在集成電路行業(yè)中，包括異丙醇,、甲醇,、丙酮、N-甲基吡咯烷酮（NMP）,、丙二醇甲醚醋酸脂（PGMEA）,、乳酸乙酯、二甲基乙酰胺等,。如異丙醇因其低表面張力和易揮發(fā)性而用于晶片清洗和干燥,，在封裝測試、化學(xué)中間體以及油墨生產(chǎn)中異丙醇的需求量也很大,；NMP和PGMEA作為高級溶劑可與水互溶,，并且能溶解大部分的有機和無機化合物，具有良好穩(wěn)定性,，被廣泛應(yīng)用于光刻膠溶劑等,。
賽默飛可為高純有機溶劑提供QA/QC檢測，遵循國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定用ICPMS法來測定超痕量金屬離子雜質(zhì),，此外,，還可以提供創(chuàng)新R&D檢測方案，準(zhǔn)確地對雜質(zhì)進行鑒定和監(jiān)測,，可以有利于工藝方案的優(yōu)化及產(chǎn)品質(zhì)量的控制,，以及不同批次產(chǎn)品間的組分差異，助力突破研發(fā)壁壘,。
??高純有機溶劑ICPMS測試的挑戰(zhàn)
有機溶劑直接進樣對于ICPMS測定有較大的挑戰(zhàn),，高揮發(fā)性增加了等離子體負載，導(dǎo)致炬焰收縮而熄火,，炬管和接口的積碳導(dǎo)致檢測強度下降影響長期穩(wěn)定性,，甚至于堵塞錐孔。因此傳統(tǒng)測試上采用揮發(fā)蒸干用酸提取,，對于水溶性溶劑也使用稀釋法進樣,。固態(tài)聚合物更多地使用高溫灰化或微波消解的前處理方法,。但隨著試劑純度的提高，對于其中要求的雜質(zhì)限量值越來越低,，樣品前處理步驟往往會有引入污染的風(fēng)險,，尤其是前處理條件不能滿足潔凈度要求的情況下。
iCAP TQs最新變頻阻抗匹配設(shè)計的RF發(fā)生器,，對于有機溶劑直接進樣具有及其快速的匹配,，并結(jié)合高效Peltier霧化室制冷模塊，在霧化室連接管上接入高純度氧氣,，與樣品氣溶膠混合后導(dǎo)入離子體,，加氧消除積碳保持進樣穩(wěn)定性，即便在600w冷等離子體條件下也能獲得穩(wěn)定的測定結(jié)果,。串聯(lián)四極桿技術(shù)結(jié)合碰撞與反應(yīng)模式可進一步去除碳,、氮、氬等基體產(chǎn)生的多原子離子干擾,，可獲得低背景值并更為準(zhǔn)確的結(jié)果。分析操作流程也更為簡單,、快速,，可有效控制外來污染并提高分析工作效率。
??應(yīng)用案例：電子級N-甲基吡咯烷酮（NMP）
電子級NMP在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用途廣泛,，可作為光刻膠溶劑,、除膠劑、清洗劑等,。NMP密度為1.028g/cm3與水的密度相當(dāng),，沸點202℃其在室溫下?lián)]發(fā)性低，粘度較低并可以與水互溶,。結(jié)構(gòu)中存在N-甲基使NMP直接進樣ICPMS分析時,，其基體效應(yīng)相對于異丙醇要強，將抑制待測元素的信號強度,。通過等離子體條件優(yōu)化,，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)加入法定量測定可消除基體效應(yīng)。
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在NMP的檢測中,，采用賽默飛三重四極桿iCAP TQs半導(dǎo)體專用ICPMS,，將ICPMS霧化室制冷至-5℃，減少有機溶劑進樣量,，50ml/min等離子體加氧避免錐口積碳,。有機溶劑直接進樣測定時，碳,、氮,、氬基體離子將對待測離子產(chǎn)生嚴(yán)重的干擾,，如12C?+對2?Mg+，13C1?N+對2?Al+,，1?N1?O1H+和12C1?O1H+對31P+,，以及12C+的峰拖尾對M-1的11B+的干擾等等，方法中采用冷等離子體模式,，可有效降低C,、 N、Ar等電離,，同時在Qcell中加純氨反應(yīng)以獲得低背景值,。11B的測定采用Q1和Q3的高分辨模式，提高豐度靈敏度消除12C+的影響,。31P采用熱等離子體氧反應(yīng)模式,，Q3選擇31P1?O+消除CNHO的多原子離子的干擾。
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iCAP TQs ICPMS穩(wěn)定可靠的RF發(fā)生器在等離子體加氧下,，可適合于直接進樣測定有機溶劑,，冷等離子體可有效抑制碳基多原子離子的干擾，結(jié)合TQ氨氣和氧氣反應(yīng)模式,，在一次測定中可穩(wěn)定切換各種測定模式,，提高易用性和分析效率，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)超痕量ppt級的痕量金屬雜質(zhì)檢測要求,。
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賽默飛為半導(dǎo)體材料開發(fā)了全面的痕量無機陰離子,、陽離子和金屬離子的檢測方案，在晶圓表面清洗化學(xué)品,、晶圓制程化學(xué)品,、晶圓基材和靶材等各方面，全方位滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對相關(guān)材料的質(zhì)量要求,，并開發(fā)了通過高分辨質(zhì)譜Orbitrap技術(shù)對于材料未知物研發(fā)檢測的需求,，從完整制程出發(fā)提供全面可靠的分析技術(shù)，助力半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化乘風(fēng)破浪,！
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