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真空快速退火爐AS-OneAS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),,可用于開發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝??梢源钆浞肿颖脤?shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝,。ZG溫度1500 ℃...
離子注入機(jī)由離子源、質(zhì)量分析器,、加速器,、四級(jí)透鏡、掃描系統(tǒng)和靶室組成,,可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位,。離子源是離子注入機(jī)的主要部位,,作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子...
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