真空快速退火爐AS-One

AS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),，可用于開發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝。

可以搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝,。

ZG溫度1500 ℃,，升溫速率200℃/Second。

全程PC軟件控制升溫程序,，保證溫度不過沖,，控溫精度準確。

應用：

• RTA（快速熱退火）

• RTO（快速熱氧化）

• 歐姆接觸退火

• 植入退火

• 石墨烯和hBN的快速熱化學氣相沉積RTCVD

• 硒化,，硫化

• 結晶和致密化

產品特點：

1,、 紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷（低噪音水平,，無需壓縮空氣）,；

2、加熱由功率控制而非電壓控制,，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到最初的熱處理效果,；

3、石英腔體,，腔體冷卻采用水冷,，冷壁設計，雙層不銹鋼,；

冷壁水冷技術優(yōu)點在于：1,、無記憶，2,、工藝重復性高,，3、冷卻速度快,；

4,、反應腔室的設計，氣體的進入口設計在wafer的表面,，避免在退火過程中冷點的產生,。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；

5,、快速數字PID控溫,；

6,、熱電偶配合高溫計控溫，測試樣品的溫度,，控溫JZ,；

7、大氣和真空工藝均適合,，凈化氣體配針閥,；

8、最多5路工藝氣體,，配數字質量流量控制器,；

9、電腦通過以太網連接更快的數據傳輸速度,；

10,、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設計，用于小樣品測試,；

11,、可選配分子泵，用于高真空測試,；

產品標準配置及規(guī)格參數：

1,、樣品ZD尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch,；

2,、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）

AS-One150室溫~1200 ℃,；（室溫~1300 ℃可選）

3,、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；

AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ,；

4,、溫度控制：快速數字PID控制；

5,、熱電偶：2個K型熱電偶,；

6、低溫高溫計溫度范圍：150℃~1100 ℃,；

7,、高溫高溫計溫度范圍：400℃~1500 ℃；

8,、工藝氣體氣路配質量流量計,；

9、配置真空泵及真空規(guī)；