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自動光學檢測系統(tǒng)AOI 若元件庫建立完整,,使用CAD DATA 導入即可完成自動編程。3,、還包含了離線編程軟件包(包含離線調試功能)
臺階儀(探針式表面輪廓儀) 根據使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式,、壓電式和光電式3種,。
聚焦離子束FIB 材料微納結構的樣品制備,包括:SEM在線觀察下制備TEM樣品、材料微觀截面截取與觀察,、樣品微觀刻蝕與沉積等,。
半導體檢測儀器設備全套-3D光學測量系統(tǒng)VMR可模擬現(xiàn)實環(huán)境,,規(guī)劃智能教導掃描路徑,,避免碰撞擊干涉。也可進行離線編成設計路徑,,避免占用設備的掃描排程,。
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