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產(chǎn)品簡介
美國NXQ以*的性能,，經(jīng)濟的價格,，深受用戶喜愛，截至2016年底,，超過5000臺NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實驗室,，研發(fā)中心。
詳細介紹
美國NXQ以的性能,，經(jīng)濟的價格,，深受用戶喜愛，截至2016年底,，超過5000臺NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實驗室,，研發(fā)中心,。
NXQ4000系列半自動掩膜對準曝光系統(tǒng)，融合了獨立的模塊化設計,，精準控制對準和曝光等特點,，自動程序控制使得該系統(tǒng)易于操作存儲和使用，適合實驗室多用戶使用,。
該系統(tǒng)特點：
鍥型誤差補償系統(tǒng)----*的WEC設計
紫外燈源的多樣性選擇
曝光光路的精準控制
視像分辨技術------在Video View Microscope 和Quadcam Microscope中快速切換
高效對準控制-----可選配IR或OBS雙面對準
使用領域（包括但不限于下述領域的光刻工藝）