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[供應(yīng)]EFC270-蝕刻殘留物去除劑
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  • EFC270-蝕刻殘留物去除劑
貨物所在地：
廣東深圳市
更新時(shí)間：
2024-11-04 21:00:07
有效期：
2024年11月4日 -- 2025年5月4日
已獲點(diǎn)擊：
145
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杜邦蝕刻殘留物去除液

詳細(xì)介紹

 

 

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除            

特點(diǎn)：

制定zui jia的金屬堆棧完整性  

“改進(jìn)”寬窗口處理能力

強(qiáng)化蝕刻殘余物去除

清洗的掩膜減少化學(xué)殘留

超大規(guī)模集成電路（ULSI）級(jí)規(guī)格*進(jìn)封裝清洗

工作溫度下蒸發(fā)速率低

 

應(yīng)用：        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),，以滿(mǎn)足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進(jìn)DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

下面列出了常見(jiàn)的應(yīng)用程序： 

  • 接觸清潔            

  • 金屬線(xiàn)清潔

  • TSV深硅穿孔清潔           

  • 鎢埋位線(xiàn)清洗            

  • 聚酰亞胺清洗            

  • Pad清潔            

  • MEMS清洗

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