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[供應(yīng)]EFC265-刻蝕殘留物去除劑
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  • EFC265-刻蝕殘留物去除劑
貨物所在地：
廣東深圳市
更新時(shí)間：
2024-11-04 21:00:07
有效期：
2024年11月4日 -- 2025年5月4日
已獲點(diǎn)擊：
181
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杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

詳細(xì)介紹

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除      

   

 應(yīng)用：        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),，以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進(jìn)DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

下面列出了常見的應(yīng)用程序： 

  • 接觸清潔            

  • 金屬線清潔

  • TSV深硅穿孔清潔           

  • 鎢埋位線清洗            

  • 聚酰亞胺清洗            

  • Pad清潔            

  • MEMS清洗

 

特征：

  • 所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

  • 清洗接觸,，金屬,，穿孔和Pad

  • 高度選擇性的殘留物去除

  • 去除重有機(jī)殘留物

  • 寬工藝窗口

  • 高產(chǎn)率 

  • 穿孔接觸電阻降低

  • 鋁清洗行業(yè)基準(zhǔn)

 

 

應(yīng)用：        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),，以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進(jìn)DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

下面列出了常見的應(yīng)用程序： 

  • 接觸清潔            

  • 金屬線清潔

  • TSV深硅穿孔清潔           

  • 鎢埋位線清洗            

  • 聚酰亞胺清洗            

  • Pad清潔            

  • MEMS清洗

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