產(chǎn)品簡介
勻膠顯影系統(tǒng)廠家提供詳細(xì)的應(yīng)用范圍,特點(diǎn)信息,。
詳細(xì)介紹
勻膠顯影系統(tǒng)的設(shè)備適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料,、硅片,、晶片、基片,、導(dǎo)電玻璃等工藝,,制版的表面顯影。一般勻膠顯影機(jī)由動力系統(tǒng),、顯影液槽及噴液管,、水洗槽、擠壓(水)輥,、涂膠槽等部分組成,。
勻膠顯影系統(tǒng)的設(shè)備具有以下特點(diǎn):
1. 電機(jī)勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電,,電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速,,它比可控硅調(diào)速*,故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定,。
2. 本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速,。在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),,然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn),。兩檔速度及運(yùn)行時間分別可調(diào)。
3. 的勻膠機(jī)采用光電檢測,,數(shù)字電路測速,,對電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路,,使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定,,有力的保證了勻膠質(zhì)量。
4. “吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機(jī)工作,,提高效率。
5. 勻膠機(jī)定時采用可調(diào)定時電路控制,,面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間,。
6. 在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,,因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音很低,。
7. 電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機(jī)運(yùn)行,,本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠,,若運(yùn)行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣,即不會產(chǎn)生跑片,。
的設(shè)備是一種既可用于精密勻膠操作,,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性,。