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進口微波去膠機：Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統(tǒng),，可以安裝到超凈間墻上,。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,，也可以作為單片處理,，系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng),。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理,；MEMS制造中的犧牲層去除,。

微波等離子清洗去膠技術(shù)

進口微波去膠機概述：Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上,。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng),。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除,；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除,。

進口微波去膠機工藝參數(shù)：

材質(zhì)：石英玻璃
容積：21公升
腔體尺寸：直徑240mm,，深度460mm
腔體后部：鋁
腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連,，便于手動放片,；
氣體分布：前門擴散
觀察視窗：防紫外及微波
支撐架：鋁質(zhì)材料，
真空連接：DN40 ISO-KF
壓力控制：Pirani,，1-100Pa
真空泵：推薦35m3/h
真空閥：電子氣動閥,，DN40 ISO-KF
真空密封：硅樹脂
氣體供應(yīng)：
氣體通道：3路數(shù)字MFC，裝有電磁閥,，1000/500/200sccm（N2校準）,，1/4" Swagelok接頭
卸壓：電磁閥,，1/4" Swagelok接頭
功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
耦合：微波天線,，鋁質(zhì)諧振器,，腔體內(nèi)無電極

系統(tǒng)控制：

PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
Windows Office兼容
存儲處理數(shù)據(jù)和錯誤信息,，處理數(shù)據(jù)輸出
工藝參數(shù)圖形曲線的監(jiān)測
自動或手動操作

德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司

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