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產(chǎn)品簡介
進(jìn)口微波去膠機(jī)：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),，可以安裝到超凈間墻上,。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng),。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除,；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除,。
詳細(xì)介紹
微波等離子清洗去膠技術(shù)
進(jìn)口微波去膠機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,，也可以作為單片處理,，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除,；干法刻蝕工藝的前處理或后處理,；MEMS制造中的犧牲層去除。
進(jìn)口微波去膠機(jī)工藝參數(shù)：
- 材質(zhì)：石英玻璃
- 容積：21公升
- 腔體尺寸：直徑240mm,，深度460mm
- 腔體后部：鋁
- 腔門：鋁質(zhì)材料制作,，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動(dòng)放片,；
- 氣體分布：前門擴(kuò)散
- 觀察視窗：防紫外及微波
- 支撐架：鋁質(zhì)材料,，
- 真空連接：DN40 ISO-KF
- 壓力控制：Pirani，1-100Pa
- 真空泵：推薦35m3/h
- 真空閥：電子氣動(dòng)閥,，DN40 ISO-KF
- 真空密封：硅樹脂
- 氣體供應(yīng)：
- 氣體通道：3路數(shù)字MFC,，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準(zhǔn)）,，1/4" Swagelok接頭
- 卸壓：電磁閥,，1/4" Swagelok接頭
- 功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
- 耦合：微波天線,，鋁質(zhì)諧振器,，腔體內(nèi)無電極
系統(tǒng)控制：
- PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
- 10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
- Windows Office兼容
- 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息,，處理數(shù)據(jù)輸出
- 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
- 自動(dòng)或手動(dòng)操作