產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Harrick Plasma 研發(fā)了三十多年前的*臺(tái)臺(tái)式研究等離子體器件。現(xiàn)在Harrick Plasma 儀器在許多研究實(shí)驗(yàn)室是廣泛應(yīng)用,。
詳細(xì)介紹
Harrick Plasma 高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)
與擴(kuò)展型一樣具有雙倍的清洗速率,,高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機(jī)薄膜(10--100nm)以及表面活化改性,。
Harrick PDC-HP高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)
PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)
主要特點(diǎn):
- 緊湊臺(tái)式設(shè)備,、沒(méi)有RF放射、符合CE安全標(biāo)準(zhǔn),。
- 功率為低,、中、高三檔可調(diào),。
- 低檔功率相當(dāng)于PDC-2 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)的高檔功率設(shè)置
- 清洗腔:長(zhǎng)6.5英寸,,直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸
- 帶有視窗的鉸鏈門
- 自動(dòng)風(fēng)扇冷卻
- 集成真空泵開(kāi)關(guān)
- 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力;
- 整機(jī)尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D,;
- 重量:37 lbs,;
- 選配件
- 石英等離子清洗腔;
- 氣體流量混合器,;
- 真空泵,;
參考客戶:
蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所 蘭州化物所 中科院納米所 等等
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