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Model 212 紫外掩膜曝光機(jī)

Model 212 紫外掩膜曝光機(jī)

Model212 大面積掩模對(duì)準(zhǔn)器是一款高性價(jià)比的高性能掩模對(duì)準(zhǔn)器,，其采用了 OAI 經(jīng)行業(yè)驗(yàn)證的組件,，正是這些組件使 OAI 在光刻設(shè)備行業(yè)處于地位。212 型是一款臺(tái)式掩模對(duì)準(zhǔn)器,，所需潔凈室空間極小,，為大面積基板、液晶顯示器（LCD）,、薄膜晶體管,、面板級(jí)封裝和有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）的研發(fā)提供了經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇。借助 OAI 創(chuàng)新的真空吸盤(pán)調(diào)平系統(tǒng),，大面積基板（最大可達(dá) 12 英寸 ×12 英寸或 300 毫米 ×300 毫米）能快速,、輕柔地實(shí)現(xiàn)調(diào)平，確保在曝光過(guò)程中光刻掩模的精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)和均勻接觸,。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn) 1 微米的分辨率和對(duì)準(zhǔn)精度,。對(duì)準(zhǔn)模塊配備了掩模插入組和快換式晶圓吸盤(pán)，無(wú)需專用工具即可便捷使用多種基板和掩模,。212 型大面積掩模對(duì)準(zhǔn)器配備了經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 OAI 紫外線光源,，使用功率范圍為 200 至 2000 瓦的燈，可提供近紫外,、中紫外或深紫外的準(zhǔn)直紫外光,。雙傳感器光學(xué)反饋回路與恒定強(qiáng)度控制器相連，將曝光強(qiáng)度控制在所需強(qiáng)度的 ±2% 以內(nèi),。

可處理的基板尺寸最大為 12 英寸 ×12 英寸或 300 毫米 ×300 毫米

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特點(diǎn)

占地面積小
價(jià)格實(shí)惠
精密對(duì)準(zhǔn)
紫外光具有高準(zhǔn)直性和均勻性
可輕松適配多種大面積基板和掩模

Model 212 紫外掩膜曝光機(jī)規(guī)格參數(shù)

Model 212 紫外掩膜曝光機(jī)

德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司

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