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當(dāng)前位置:德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司>>紫外掩膜對準(zhǔn)曝光系統(tǒng)>>紫外掩膜對準(zhǔn)曝光系統(tǒng)>> Model 659光刻曝光分析儀
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更新時間:2024-02-23 13:53:48瀏覽次數(shù):1046次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
45年來,,OAI始終是紫外能量測試儀器領(lǐng)域的*應(yīng)用商,其儀器用于半導(dǎo)體,、微機電系統(tǒng),、晶圓封裝和晶圓植球行業(yè)中光刻工藝的可靠,精確校準(zhǔn)控制,。
Model 659是一款手持式紫外功率計,,配有觸摸屏和 USB 接口。通過使用特殊探頭(365nm,、400nm,、420nm 和 436nm),可以測量主要用于步進應(yīng)用的寬范圍波長,。
● 多達400個曝光參數(shù)
● 以太網(wǎng)和USB接口,,用于下載記錄的測量值
● 強度范圍達7500mW/cm2
● 強度分辨率:0.01mW/cm2
● 探頭波長:365nm、400nm,、420nm,、436nm
Model 659 型曝光分析儀,與晶圓步進光刻機配合使用,,專為Ultratech Stepper等高強度光刻設(shè)備而設(shè)計(讀數(shù)高達7500mW/cm2,1000000mJ/cm2'',最長9999秒),。可選擇探頭光譜響應(yīng):365nm,、400nm,、420nm或436nm.
OAI擁有完整的認(rèn)證校準(zhǔn)實驗室,以確保儀器的性能,,質(zhì)量,,和可靠性。Model 659 可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。
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