橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測(cè)樣品反應(yīng)技術(shù)。不像反射儀,，橢偏儀參數(shù)（PSI和Del）是在非正常的入射角得到,。改變?nèi)肷浣?。可以得到更多的?shù)據(jù)集,，這將有助于精煉模型,，減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,，可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強(qiáng)大的功能 ,。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣牵謩?dòng)或自動(dòng)模式,。

Ansgtrom Sun公司設(shè)計(jì)角度調(diào)整模型,，通過5度間隔后精確預(yù)置槽移動(dòng)手臂手動(dòng)調(diào)節(jié)角度和電動(dòng)精密測(cè)角0.01度分辨率兩種模型。此外,，測(cè)角垂直布局設(shè)計(jì),，樣品可以水平放置，這是更安全的處理樣品時(shí),?？煽康暮妥銐虻脑紨?shù)據(jù)集，更多膜的性能參數(shù),，如薄膜或涂層 厚度，光學(xué)常數(shù)（折射率n,，消光系數(shù)k指數(shù)）,、接口、孔隙度甚至成分可以通過建模,。在這個(gè)意義上,，*進(jìn)的軟件是一個(gè)必須為高性能光譜（SE）工具。我們開發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置,。仿真,，測(cè)量，分析,，數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機(jī),。  此外，SE200工具覆蓋了很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi),，從深紫外線（DUV）在可見光到近紅外（250～1100nm）,，標(biāo)準(zhǔn)配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,，如納米厚度范圍,。一個(gè)例子是在硅晶片上的原生氧化層，這是典型的2nm厚的*,。深紫外光譜也是*的,，用戶需要測(cè)量多種材料的帶隙,。

 SE系列型號(hào)：

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar

Spectroscopic Ellipsometer SE300BM

 Spectroscopic Ellipsometer SE500BA