液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種 基材和表面材料的干燥性能性能增強(qiáng)。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層,，在靜止的基板移動擴(kuò)散去除水分,，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強(qiáng)大的工藝靈活性,，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形,、半間距晶片間距，以及其他多種應(yīng)用,。

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點,，而且克服了它的不足。兆聲波清洗的機(jī)理是由高頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進(jìn)行清洗的,。在清洗時,，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波,。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，大瞬時速度可達(dá)到30cm/s,。因此,，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。

Megasonic IPA Dryer 

清洗效果：