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NSC-4000NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2017-03-03 10:52:33瀏覽次數(shù)：1130

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NSC-4000NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)：帶有水冷或者加熱（Z高可加熱到700度）功能,，Z大到8“旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，Z大可支持到4個(gè)偏軸平面磁控管,。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空,。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

詳細(xì)介紹

磁控濺射技術(shù)

NSC-4000NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能,，zui大到8"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),，zui大可支持到4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,，極限真空可達(dá)10-7 Torr,，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,，可以獲得想要的均勻度和沉積速度,。

NSC-4000帶有13”鋁質(zhì)腔體，4個(gè)2”的磁控管,，DC直流和RF射頻電源,。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體,，500 l/s渦輪分子泵,，額外的磁控管和襯底加熱功能。

NSC-4000NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 不銹鋼,，鋁質(zhì)腔體
  • 260或500 l/s的渦輪分子泵,，串接機(jī)械泵或干泵
  • 13.56MHz,，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
  • 晶振夾具具有的<1 Å的厚度分辨率
  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
  • 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
  • *的安全聯(lián)鎖功能

選配項(xiàng)：

  • 不銹鋼腔體
  • 熱蒸鍍能力
  • RF、DC濺射
  • RF或DC偏壓（1000V）
  • 樣品臺(tái)可加熱到700°C
  • 膜厚監(jiān)測(cè)儀
  • 基片的RF射頻等離子清洗
  • 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片

應(yīng)用：

  • 晶圓片,、陶瓷片,、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
  • 光學(xué)以及ITO涂覆
  • 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
  • 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射

 

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