隨著NANO-MASTER*技術的ICP源的深入應用,，對于大面積的基片提供均勻高品質的薄膜生長得以實現,。到目前為止，NANO-MASTER的ALD系統(tǒng)可以支持在任意尺寸的襯底上的擴展,，這給顯示和照明等領域帶來好消息,。

此外，NANO-MASTER同時具備粉末處理能力的擴展,。這樣,，NANO-MASTER系統(tǒng)已經可以支持在任意尺寸和任意形狀的固體上進行原子級生長。在應用選擇方面,，我們支持熱ALD和PEALD系統(tǒng)的單獨應用,，同時也支持ALE/ALD雙系統(tǒng)、IBE/ALD雙系統(tǒng),、ALD/PECVD雙系統(tǒng),、ALD/IBAD雙系統(tǒng)等應用，以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系統(tǒng)組成的Cluster系統(tǒng),，可以實現多工序工藝在不間斷真空的情況下一步完成工藝,。