微波等離子清洗機(jī)的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的,。就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài),；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子,；產(chǎn)物分子解析形成氣相,；反應(yīng)殘余物脫離表面。
微波等離子清洗機(jī)技術(shù)的zui大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類型,，均可進(jìn)行處理,，對金屬、半導(dǎo)體,、氧化物和大多數(shù)高分子材料,，如聚丙烯、聚脂,、聚酰亞胺,、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗,。
微波等離子清洗機(jī)還具有以下幾個特點(diǎn)：容易采用數(shù)控技術(shù)，自動化程度高,；具有高精度的控制裝置,，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,，表面質(zhì)量得到保證,；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境,，保證清洗表面不被二次污染,。
微波等離子清洗機(jī)優(yōu)點(diǎn)：
1.環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過程是氣- 固相干式反應(yīng) ,不消耗水資源、無需添加化學(xué)藥劑,對環(huán)境無污染,。
2.廣適性：不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對金屬,、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,，如聚丙烯,、聚脂、聚酰亞胺,、聚氯乙烷,、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗改性,。
3.溫度低：接近常溫，特別適于高分子材料,，比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力,。
4.功能強(qiáng)：僅涉及高分子材料淺表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同時,，賦予其一種或多種新的功能,；
5.低成本：裝置簡單，易操作維修,，可連續(xù)運(yùn)行,，往往幾瓶氣體就可以代替數(shù)千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低于濕法清洗。
6.全過程可控工藝：所有參數(shù)可由電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,，進(jìn)行質(zhì)量控制,。
7.處理物幾何形狀無限制：大或小，簡單或復(fù)雜,，部件或紡織品,，均可處理,。
