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更新時(shí)間：2025-02-27 11:31:36瀏覽次數(shù)：1995評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 |
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臺(tái)式磁控濺射鍍膜儀
該系統(tǒng)可以作為以下功能裝置：
1,，研發(fā)級(jí)R&D鍍膜設(shè)備，性能優(yōu)異
2,，具備所有研發(fā)級(jí)別的鍍膜要求
3,，高效的沉積速率，鍍膜時(shí)間快
4,， 實(shí)驗(yàn)室中培訓(xùn)的最工具
臺(tái)式磁控濺射鍍膜儀
主要的特點(diǎn)和先進(jìn)的功能：
1,， 臺(tái)式，小型,，快速
2,，全自動(dòng)化程序控制
3，單靶或多靶聯(lián)合濺射鍍膜,，多路氣體管路
4,，共聚焦設(shè)計(jì)，靶槍尺寸：2英寸,，3英寸,，4英寸，襯底可做到200mm,，旋轉(zhuǎn)1-20RPM,，以及Load-lock配置
5，配置干泵+分子泵,，可達(dá)高真空,，適用高品質(zhì)薄膜沉積。
6,， 可做直流濺射,，射頻濺射，100W射頻偏壓（用于襯底表面清洗）
性能價(jià)格比高??！
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