中圖儀器PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,，基于激光干涉測量原理,，專為超精密加工、微電子制造,、光刻技術,、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,，支持單軸至多軸測量,。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,，同時其熱源隔離設計,，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷,，易于準直等特點,。

PLR3000高靈敏度光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm,，為復雜工業(yè)場景提供精準,、可靠的位置反饋與控制。在微電子,、微機械,、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用,。

功能特點

1,、高分辨率數(shù)字正交信號輸出，分辨率達10nm（可外部拓展）,。 

2,、高測量精度,，線性測量精度達0.2~0.5ppm。

3,、高穩(wěn)頻精度,，可達0.02~0.05ppm。

4,、測量范圍大,，最大量程可達4m（可拓展）。

5,、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離,，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備,，便于安裝,，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6,、輸出正交數(shù)字信號或1Vpp正余弦信號,，可以適用于不同的控制器。

7,、體積小巧,，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差,。 

8,、即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環(huán)位置反饋控制,。

9,、多通道輸出，可輕松實現(xiàn)多軸同時測量及多自由度測量,。

10,、環(huán)境補償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),，實時補償溫度,、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性,。

核心優(yōu)勢

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展）,，線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm,，滿足納米級測量需求,。  

（2）環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度,、氣壓對測量的影響,，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定,。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸、雙軸,、三軸輸出,，輕松實現(xiàn)多自由度測量。  

（2）可選差分干涉儀,、平面鏡干涉儀,、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景,。  

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設計,，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾,，安裝靈活。  

（2）體積小巧,，適配狹小空間,，降低阿貝誤差風險。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米（可拓展）,，支持動態(tài)速度達2m/s,，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。  

典型應用場景

半導體制造：光刻機晶圓定位,、精密工件臺反饋控制,。  

航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準,。  

精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋,、微機械元件測量。  

科研領域：光學平臺穩(wěn)定性監(jiān)測,、超精密實驗設備控制,。  

服務與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展,、環(huán)境補償單元等靈活選配,。  

專業(yè)認證：提供激光校準證書，確保數(shù)據(jù)性,。  

全球服務網(wǎng)絡：1年質(zhì)保,，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現(xiàn)場問題,。