PLR3000系列光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備,，基于激光干涉測量原理,，專為超精密加工、微電子制造,、光刻技術(shù),、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,，支持單軸至多軸測量,，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm,，為復雜工業(yè)場景提供精準,、可靠的位置反饋與控制。  

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源,，激光通過保偏光纖引導,，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差,?？筛鶕?jù)用戶需求,，配置單軸、雙軸以及三軸輸出,，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量,。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀,、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭,，滿足用戶各種復雜場景應用。

核心優(yōu)勢  

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展）,，線性測量精度0.2ppm,，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求,。  

（2）環(huán)境氣象站實時補償溫度,、濕度、氣壓對測量的影響,，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定,。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸、雙軸,、三軸輸出,，輕松實現(xiàn)多自由度測量。  

（2）可選差分干涉儀,、平面鏡干涉儀,、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景,。  

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計,，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾,，安裝靈活,。  

（2）體積小巧，適配狹小空間,，降低阿貝誤差風險,。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達2m/s,，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。  

典型應用場景  

半導體制造：光刻機晶圓定位,、精密工件臺反饋控制,。  

航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準,。  

精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量,。  

科研領(lǐng)域：光學平臺穩(wěn)定性監(jiān)測,、超精密實驗設(shè)備控制。  

服務(wù)與支持  

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置,、量程拓展,、環(huán)境補償單元等靈活選配。  

專業(yè)認證：提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準證書,，確保數(shù)據(jù)性,。  

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團隊7×24小時響應,，快速解決現(xiàn)場問題,。