產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PLR3000系列高穩(wěn)頻精度光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理,，是一種高精密度、高靈敏度,、高效快速的優(yōu)良位置檢測(cè)設(shè)備,，在非接觸高精度測(cè)量領(lǐng)域具有其它測(cè)量方法沒(méi)有的優(yōu)勢(shì)，相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,，具有更加精確的柵距和更高的分辨率,，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性,，具有安裝快捷,，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì),，在微電子,、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造,、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,。

PLR3000光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源，穩(wěn)頻精度最高可達(dá)0.02ppm,。激光通過(guò)保偏光纖引導(dǎo),，用戶(hù)可輕松將干涉儀配置到任意需要測(cè)量位置，最大限度減小阿貝誤差,。

PLR3000光纖激光尺可根據(jù)用戶(hù)需求,，配置單軸、雙軸以及三軸輸出,，輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量,。同時(shí)提供多種干涉探頭配置，用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀,、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭,，滿(mǎn)足用戶(hù)各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。

此外,，還可根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用場(chǎng)景,，定制個(gè)性化解決方案，解決實(shí)際應(yīng)用需求,。

功能特點(diǎn)

1,、高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）,。 

2,、高測(cè)量精度，線(xiàn)性測(cè)量精度達(dá)0.2~0.5ppm,。

3,、高穩(wěn)頻精度,，可達(dá)0.02~0.05ppm。

4,、測(cè)量范圍大,，最大量程可達(dá)4m（可拓展）。

5,、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離,，通過(guò)3m鎧裝光纖與電纜連接,，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測(cè)量設(shè)備,，便于安裝，同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對(duì)測(cè)量通路的影響,。

6,、輸出正交數(shù)字信號(hào)或1Vpp正余弦信號(hào)，可以適用于不同的控制器,。

7,、體積小巧，適合狹小空間安裝,，可最大限度降低阿貝誤差,。 

8、即可作為激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量,，也可用于閉環(huán)位置反饋控制,。

9、多通道輸出,，可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測(cè)量及多自由度測(cè)量,。

10、環(huán)境補(bǔ)償功能,，一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對(duì)激光在空氣中空氣折射率的影響,，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性,。

核心優(yōu)勢(shì)

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），線(xiàn)性測(cè)量精度0.2ppm,，穩(wěn)頻精度0.02ppm,，滿(mǎn)足納米級(jí)測(cè)量需求。  

（2）環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度,、濕度,、氣壓對(duì)測(cè)量的影響，確保數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定,。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸,、雙軸,、三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量,。  

（2）可選差分干涉儀,、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,，適配復(fù)雜場(chǎng)景,。  

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計(jì)，3米鎧裝光纖連接,，避免設(shè)備散熱干擾,，安裝靈活。  

（2）體積小巧,，適配狹小空間,，降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。  

4. 廣泛適用性  

PLR3000高穩(wěn)頻精度光纖激光尺大量程4米（可拓展）,，支持動(dòng)態(tài)速度達(dá)2m/s,，覆蓋從靜態(tài)檢測(cè)到高速運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景。  

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位,、精密工件臺(tái)反饋控制,。  

航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn),。  

精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋,、微機(jī)械元件測(cè)量。  

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè),、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制,。  

服務(wù)與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展,、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配,。  

專(zhuān)業(yè)認(rèn)證：提供中國(guó)計(jì)量院或深圳市計(jì)量院出具的激光校準(zhǔn)證書(shū)，確保數(shù)據(jù)性,。  

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保,，技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場(chǎng)問(wèn)題,。