SJ6000設備直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,，具有高精度,、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,。結合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構成,。可滿足線性位移設備的定位精度,、重復定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。

線性測量應用

SJ6000設備直線度激光干涉測量儀廣泛應用于機床,、三坐標、機器人,、3D打印設備,、自動化設備、線性位移平臺,、精密機械設備,、精密檢測儀器等領域的線性測量。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

動態(tài)測量概述

SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組,、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應的線性,、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。

動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進行位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅與頻率分析等,。

位移-時間曲線

速度-時間曲線

加速度-時間曲線

振幅-頻率曲線

動態(tài)測量應用

1、基于時間的動態(tài)測量

機器運動控制性能評價：

(1)運動控制器PID控制參數(shù)測試與設置

(2)動后機器的穩(wěn)定性測試與評價

(3)能運動控制器的微小步幅的測試

振動監(jiān)視

(1)掃描應用：用于定位精度不重要,，但恒速對實現(xiàn)高質量成像非常關鍵的場合

(2)機床應用：典型應用包括要求刀具慢速,、平穩(wěn)輪廓運動的高質量表面精加工

振動頻率分析

(1)被測對象的振動頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動態(tài)測量

基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量,，即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進行數(shù)據(jù)采集。

3,、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵,、編碼器、控制器等信號,，配合SJ6000激光干涉儀,，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下,，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進行數(shù)據(jù)采集,。

產品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度,、重復定位精度等,，以及導軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準,；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進行振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

測量軟件

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程,；

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。