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全自動(dòng)BOE刻蝕機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間 2025/4/22 15:02:10
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 98

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芯矽科技是一家專(zhuān)注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級(jí)到全自動(dòng)量產(chǎn)級(jí)槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,,公司核心產(chǎn)品12寸全自動(dòng)晶圓化學(xué)鍍?cè)O(shè)備,12寸全自動(dòng)爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,,已經(jīng)成功取得長(zhǎng)江存儲(chǔ),,中芯國(guó)際,,重慶華潤(rùn),上海華虹,,上海積塔,上海格科,,廣東粵芯,,青島芯恩,廈門(mén)士蘭,,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線(xiàn)訂單,,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

全自動(dòng)BOE刻蝕機(jī)專(zhuān)為半導(dǎo)體硅片表面氧化層精準(zhǔn)腐蝕而設(shè)計(jì),,基于BOE溶液對(duì)二氧化硅(SiO?)的高選擇性腐蝕特性,通過(guò)化學(xué)濕法工藝實(shí)現(xiàn)納米級(jí)可控加工,。

全自動(dòng)BOE刻蝕機(jī)其核心功能包括:

各向同性腐蝕:BOE溶液對(duì)SiO?的腐蝕速率遠(yuǎn)高于硅基底,可快速去除氧化層同時(shí)保持硅表面平整度,。

精準(zhǔn)速率控制:通過(guò)溫度(±0.1℃),、濃度(±0.5%)及流體動(dòng)力學(xué)的閉環(huán)調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)腐蝕速率誤差<±0.5nm/min,。

多場(chǎng)景適配:支持TSV(硅通孔),、MEMS腔體釋放、功率器件背面減薄等工藝需求,,兼容6-12英寸晶圓,。

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

精準(zhǔn)腐蝕控制系統(tǒng)

智能溫控模塊:采用PID恒溫技術(shù),腔體溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1℃,,確保腐蝕速率均勻性,。

動(dòng)態(tài)化學(xué)配比:在線(xiàn)監(jiān)測(cè)BOE溶液濃度,實(shí)時(shí)補(bǔ)充反應(yīng)劑,,避免因濃度波動(dòng)導(dǎo)致的速率偏差,。

流體仿真設(shè)計(jì):通過(guò)CFD(計(jì)算流體力學(xué))優(yōu)化噴淋路徑,,實(shí)現(xiàn)晶圓表面腐蝕均勻性<±1.5%(6英寸晶圓),。

高效自動(dòng)化生產(chǎn)

全封閉無(wú)塵對(duì)接:集成機(jī)械臂自動(dòng)上料,支持FOUP(前開(kāi)式晶圓盒)直接傳輸,避免人工接觸污染,。

多工位并行處理:配備雙腔體交替作業(yè),,單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能可達(dá)120片/小時(shí)(8英寸晶圓)。

干燥與檢測(cè)一體化:內(nèi)置低溫旋干模塊(<40℃)及光學(xué)檢測(cè)儀,,實(shí)時(shí)反饋腐蝕厚度與表面缺陷。

環(huán)保與安全設(shè)計(jì)

廢液循環(huán)處理:BOE廢液經(jīng)三級(jí)過(guò)濾(離子交換+蒸餾)后回收率>85%,,降低危廢成本,。

安全防護(hù)系統(tǒng):配備泄漏檢測(cè)傳感器、緊急排風(fēng)裝置及化學(xué)品溢出防護(hù)機(jī)制,,符合SEMI S8安全標(biāo)準(zhǔn),。




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