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無(wú)掩模光刻機(jī) 高階灰度光刻能力設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 托托科技(蘇州)有限公司
  • 品牌 TuoTuo
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/17 9:35:17
  • 訪問次數(shù) 163

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托托科技是一家是專注于光學(xué)顯微加工及檢測(cè)的光學(xué)設(shè)備制造廠商。目前公司擁有五個(gè)核心產(chǎn)品線:

(A)無(wú)掩膜光刻機(jī)

(B)磁學(xué)產(chǎn)品

(C)多模態(tài)光電顯微鏡

(D)超高精度3D打印

(E)3D顯微鏡

已經(jīng)形成了集設(shè)計(jì),、研發(fā)、制造,、銷售及客戶咨詢服務(wù)為一體的高科技企業(yè),,致力于給客戶提供技術(shù)支持,以專業(yè)技術(shù)和細(xì)致設(shè)計(jì)造就高品質(zhì),以耐心服務(wù)和企業(yè)擔(dān)當(dāng)贏得良好口碑,。

公司旗下產(chǎn)品的品牌名稱為TuoTuo,,擁有中國(guó)及新加坡兩個(gè)研發(fā)中心,,其中托托科技(蘇州)是中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)的運(yùn)營(yíng)主體,TuoTuoTechnology(Singapore) Pte.Ltd. 是國(guó)際業(yè)務(wù)的運(yùn)營(yíng)主體,。




無(wú)掩膜版紫外光刻機(jī),,超高精度3D光刻產(chǎn)品,形貌表征產(chǎn)品,,光電光譜分析產(chǎn)品,,3D成像顯微物鏡,磁光電聯(lián)合分析

隨著科技的飛速發(fā)展,,微電子與集成電路制造領(lǐng)域?qū)取⑿逝c靈活性的要求日益提高,。托托科技憑借其革命性的無(wú)掩模光刻機(jī)技術(shù),為這一領(lǐng)域帶來(lái)變革,。


托托科技的無(wú)掩模光刻機(jī) 高階灰度光刻能力設(shè)備融合了激光直寫技術(shù)與DMD無(wú)掩模技術(shù),,實(shí)現(xiàn)了直接在材料表面進(jìn)行高精度加工,。激光直寫技術(shù)通過(guò)激光束的精確控制,直接在材料上刻畫出所需的圖案,,而DMD無(wú)掩模技術(shù)則利用數(shù)字微鏡陣列投影光束,,實(shí)現(xiàn)大面積、高分辨率的圖案化加工,。


DMD無(wú)掩模光刻技術(shù)的基本原理在于利用數(shù)字微鏡裝置(DMD)控制微鏡的角度,,通過(guò)投影系統(tǒng)在材料表面快速形成圖像或光刻圖案,。這些微鏡根據(jù)電信號(hào)的控制精確調(diào)節(jié)反射角度,將激光或光源投射到特定位置,,從而實(shí)現(xiàn)無(wú)需掩模版的高精度光刻,。


該系統(tǒng)的組成包括光源模組,、勻光模組、DMD模組,、投影模組,、運(yùn)動(dòng)臺(tái)模組和軟件等,這些模組高效,、精準(zhǔn)地協(xié)同工作,確保了光刻過(guò)程的高分辨率和快速性,。工作流程中,,上位機(jī)發(fā)送圖形數(shù)據(jù)到DMD模組,DMD顯示對(duì)應(yīng)的圖形,,經(jīng)由DMD反射的光攜帶著圖形信息,并經(jīng)過(guò)一系列光學(xué)元件后照射到基片上,,實(shí)現(xiàn)了圖形的轉(zhuǎn)移,。高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的協(xié)同工作,確保不同曝光區(qū)域的精準(zhǔn)拼接,,最終實(shí)現(xiàn)大型、復(fù)雜圖案的動(dòng)態(tài)曝光,。


托托科技無(wú)掩模光刻機(jī)的核心功能之一是靈活設(shè)計(jì)無(wú)需掩模版,。相比傳統(tǒng)的有掩模光刻,,無(wú)掩模光刻機(jī)省去了制版的時(shí)間和金錢成本,幫助用戶快速驗(yàn)證想法,。此外,其加工精度可達(dá)400 nm,,滿足大多數(shù)高精度加工需求,。對(duì)于大尺寸樣品的加工,該設(shè)備提供高達(dá)1200 mm2/min的速度,,確保高效生產(chǎn),。同時(shí),,加工幅面可達(dá)2 m2,滿足超大幅面加工需求,。值得一提的是,,其灰度光刻能力可達(dá)4096階,,能夠精準(zhǔn)地在光刻材料上構(gòu)建出具有高度復(fù)雜且細(xì)膩層次變化的微觀結(jié)構(gòu)或圖案,為微納制造領(lǐng)域帶來(lái)工藝精度與豐富的設(shè)計(jì)可能性,。


除了核心功能外,,托托科技無(wú)掩模光刻機(jī) 高階灰度光刻能力設(shè)備還具備多項(xiàng)特色功能,。直接繪圖功能為用戶提供了靈活便捷的手段,快速驗(yàn)證想法,。精準(zhǔn)套刻功能通過(guò)綠光作為指引光,為光刻前的對(duì)準(zhǔn)預(yù)覽提供保障,,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)套刻,。陣列光刻功能則提供了快速確認(rèn)工藝參數(shù)的手段,,節(jié)約用戶時(shí)間。主動(dòng)對(duì)焦功能確保每次光刻聚焦清晰,,為光刻前的實(shí)時(shí)對(duì)準(zhǔn)提供保障。


托托科技的無(wú)掩模光刻機(jī)不僅在科學(xué)研究,、定制化生產(chǎn)、快速原型制造等領(lǐng)域展現(xiàn)出優(yōu)秀性能,,還在電子器件、生物醫(yī)藥,、光學(xué)元件,、微機(jī)械等眾多領(lǐng)域提供解決方案。其革命性的技術(shù)革新為微電子與集成電路制造領(lǐng)域帶來(lái)了靈活性和效率,,使行業(yè)向更高水平邁進(jìn),。




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