中圖儀器SuperVirewW白光干涉表面3D輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式,，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。

它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等等）,；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

產(chǎn)品功能

1)樣件測(cè)量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測(cè)量,；

2)單區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：單片平面樣品或批量樣品切換測(cè)量點(diǎn)位時(shí)，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測(cè)量點(diǎn)位,，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能,；

4)自動(dòng)拼接測(cè)量,；支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能,，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測(cè)量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測(cè)量,；

5)編程測(cè)量功能：支持測(cè)量和分析同界面操作的軟件模塊，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動(dòng)單測(cè)量功能,，實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對(duì)同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能,，定量檢測(cè)出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù),，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報(bào)警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperVirewW白光干涉表面3D輪廓儀具有測(cè)量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。

部分技術(shù)指標(biāo)

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